Вертикални кварцни чамци

У процесима производње полупроводника, полупроводничке компоненте у реакционој комори морају испуњавати строге стандарде високе чистоће. У супротном, чак и нечистоће или загађивачи на микро или нано-размери могу да изазову неповратну штету перформансама и приносу полупроводничких уређаја.

Кварцни чамцисе обично инсталирају вертикално у високотемпературним реакционим коморама као што су дифузионе пећи, оксидационе пећи и пећи за жарење, где морају бити у директном контакту са плочицама. Вертикални кварцни чамци Семицорек-а произведени су од кварцних материјала високе чистоће како би задовољили ове захтеве високе чистоће. Ова мудра селекција материјала ефикасно избегава контаминацију плочице узроковану реактантима који се ослобађају из чамаца за плочице током процеса производње.

У производњи полупроводника, чамци на плочице морају не само да пролазе кроз поновљене циклусе грејања-хлађења, већ и да издрже корозију процесних гасова током дужег времена. Семицорек-ов вертикални кварцваферчамци показују изузетну димензијску стабилност у изазовним условима рада константног термичког циклуса због своје инхерентне термичке стабилности. Ова супериорна термичка својства значајно спречавају деформацију плочице и оштећења узрокована прецизном деградацијом или структурном деформацијом вертикалних кварцних чамаца за плочице. Штавише, захваљујући својој високој хемијској инертности, вертикални кварцни чамци могу бити отпорни на реакцију са корозивним гасовима као што су кисеоник, водена пара, хлороводоник и амонијак. Ово својство у великој мери смањује могућност да ће хемијска корозија угрозити структурни интегритет вертикалних кварцних чамаца.

Поред горе наведених предности у перформансама, Семицорек-ови вертикални кварцни чамци такође показују одличну конкурентност у тачности димензија и структурном дизајну. Сваки њихов део је произведен техником прецизног обрађивања. Ова прецизна контрола димензија обезбеђује прецизно позиционирање плочице, минимизирајући огреботине и пукотине узроковане померањем или сударима током утовара, обраде и истовара.