Тефлон касете

Семицорек Тефлон Цассеттес су носачи вафле високих перформанси, посебно пројектовани за употребу у захтевању хемијских окружења у којима су чистоћа, хемијска отпорност и топлотна стабилност од суштинског значаја. Направљено од политетрафлуороеороетилен-а од високе чистоће (ПТФЕ), ове касете се широко користе у производњи полуводича, влажном јеткању, хемијском чишћењу и другим апликацијама у којима је излагање високо агресивним хемикалијама рутина. Њихова неактивна природа чини их идеалним за руковање деликатним подлозима попут силиконских вафла, стаклених плоча и других прецизних компоненти без увођења контаминације или честица у процес.

У различитим процесима производње полуводича, као што је литографија, јеткање и ионска имплантација, касете играју улогу у транспорту и преношењу вафера између различитих уређаја. Различита процесна опрема може имати различите захтеве за интерфејс за касете како би се осигурало да се превозници вафле могу тачно примити и поставити.

Из перспективе материјала и дизајна, материјали који су отпорни на топлоте, имају одлична механичка својства, димензијска стабилност и су издржљиви, антистатички, ниски, ниски падавина и рециклирани се углавном користе. Различите величине вафла, процесни чворови и процеси користе различите материјале. Општи материјали су ПФА, ПТФЕ, ПП, Пеек, ПЕС, ПЦ, ПБТ, Пеи, Полицајац итд.

Тефлонске касете нуде врхунску хемијску отпорност у окружењима користећи хидрофлуоричну киселину, азотну киселину, сумпорну киселину и друге јаке корозиве. За разлику од конвенционалних материјала попут полипропилена или нехрђајућег челика, ПТФЕ деградира не; не набрекне; не проћи без супстанци у оштрим хемијским купатилима. Стога је наступ гарантовано током дужег периода и отуда поузданост касета за производне линије високих пропусности и ултра-чистим окружењима. Његова робусност значи ниже потребе за одржавањем и фреквенцију замјене, на тај начин смањују дугорочне оперативне трошкове.

Тефлонске касете показују веома високу топлотну стабилност. Они лако могу да издрже температуре од -200 ° Ц до + 260 ° Ц, применљиво за криогене као и за процесе високог температура. Чак је и постављен у загрејане коморе за сушење или хладне хемијске купке, касете не губе структурну снагу; Они не испарују и не пуцају, осигуравајући да вафли остану сигурно одржани током обраде. Ова температура температура значајно доприноси контроли и уједначености обраде, који су критични за полуводичку и мемс измишљоте.

Једнако важна карактеристика тефлонских касета је његова инертна површина која није залепљена. ПТФЕ инхерентно не дозвољава адсорпцију честица и хемијских остатака, стога смањење ризика од контаминације у окружењима чистоћне собе. Ово мора бити спојен са глатком површинском завршном обрадом која омогућава испирање лако и брзо сушење, чистију исходе и брже време циклуса. У полуводичкој обради, где недостаци могу узроковати чак ни микроскопски контаминант, ова чистоћа и хемијска инертност је обавезна.

Свака касета је тачно направљена да би била уска толеранције величине, гарантујући стално поравнавање и размак од премјештања и поставља се у течност. Њихов лако дизајниран облик помаже брзом хемијском протоку и одводњавању, који убрзава курсеве хемијских производа и побољшава чишћење или уништавање униформе на површини од лике.  Касете су доступне у стандардним величинама за 4-инчне, 6-инчне и 8-инчне вафле, са опцијама прилагођавања доступне за уклапање специфичних димензија супстрата, бројеве утора и захтеви за руковање.

Дизајниран за компатибилност са аутоматизованим влажним клупама и роботским системима за руковање вафром, тефлонске касете се лако интегришу у већину полуводичких поставки производње. Њихова робусна грађевинарство и чистина чине се испуњавају строге захтеве окружења ИСО сертификованог. Све касете пролазе темељну инспекцију и претходно су очишћене у ултра чистој води како би се задовољиле стандарде чистоће потребне за напредну производњу микроелектронике. Сертификати о усагласности и пуном материјалном сљедивости могу се обезбедити како би се осигурало поштовање протокола осигурања квалитета.