ТаЦ Цоатед Вафер Сусцептор

Семицорек ТаЦ обложена плочица сусцептор је кључна компонента која се користи у пећима за метално-органско хемијско таложење паре (МОЦВД) за епитаксијалну (епи) обраду полупроводника. Овај специјализовани округли носач је направљен од висококвалитетног графитног материјала и има јединствени премаз од тантал карбида (ТаЦ).

Примарна сврха ТаЦ премаза је да побољша перформансе и издржљивост ТаЦ обложеног Вафер Сусцептора током захтевних услова процеса производње полупроводника. Тантал карбид је познат по својој изузетној тврдоћи, високој тачки топљења и отпорности на хабање и корозију. Ова својства чине ТаЦ Цоатед Вафер Сусцептор идеалним избором за заштиту основног графитног пријемника од хемијских реакција и физичких напрезања који се јављају унутар МОЦВД пећи.

ТаЦ Цоатед Вафер Сусцептор игра виталну улогу у епитаксијалном расту полупроводничких материјала олакшавајући таложење танких филмова на плочице. Његова способност да издржи високе температуре и оштра хемијска окружења је кључна за постизање прецизне и поуздане производње полупроводничких уређаја.

ТаЦ Цоатед Вафер Сусцептор, са својим графитним језгром и премазом од тантал-карбида, обезбеђује доследну и уједначену дистрибуцију топлоте, доприносећи поновљивости и квалитету слојева полупроводника узгојених током МОЦВД процеса. Ова напредна комбинација материјала чини је поузданим и издржљивим решењем за производњу полупроводника, испуњавајући строге захтеве модерне производње електронских уређаја.