ТаЦ обложена цев

Снага Семицорек ТаЦ Цоатед Тубе лежи у синергистичкој комбинацији основног материјала и специјализованог премаза:

Изотропна графитна подлога високе чистоће:Језгро ТаЦ обложене цеви је формирано од изотропног графита ултра високе чистоће, познатог по својој одличној топлотној проводљивости, ниској топлотној експанзији и инхерентној отпорности на топлотни удар. Ова основа пружа робусну и стабилну платформу способну да издржи брзе температурне флуктуације и висока топлотна оптерећења карактеристична за обраду полупроводника.

Танталум Царбиде---Штит издржљивости и инертности:ТаЦ премаз нанет ЦВД трансформише графитну подлогу, дајући изузетну тврдоћу, отпорност на хабање и хемијску инертност. Овај заштитни слој делује као баријера против агресивних гасова, плазме и реактивних врста које се сусрећу током производње полупроводника, обезбеђујући структурни интегритет и дуговечност цеви.

Ова јединствена комбинација материјала се претвара у низ предности које су кључне за напредну производњу полупроводника:

Отпорност на температуру без премца:ТаЦ се може похвалити једном од највиших тачака топљења од свих познатих материјала, надмашујући чак и силицијум карбид (СиЦ). Ова екстремна температурна отпорност омогућава ТаЦ обложеној цеви да поуздано ради у процесима који захтевају температуре веће од 2500°Ц, омогућавајући производњу полупроводничких уређаја следеће генерације са захтевним термичким буџетима.

Ултра-висока чистоћа за критичну контролу процеса:Одржавање нетакнутих процесних окружења је најважније у производњи полупроводника. Употреба графита високе чистоће и педантан процес ЦВД премаза обезбеђују минимално испуштање гасова или стварање честица из цеви обложене ТаЦ, спречавајући контаминацију која би могла да угрози осетљиве површине плочице и перформансе уређаја.

Непоколебљива хемијска отпорност:Хемијска инертност ТаЦ обложене цеви обезбеђује изузетну отпорност на широк спектар корозивних гасова, реактивних јона и окружења плазме који се обично користе у полупроводничким процесима као што су јеткање, таложење и жарење. Ова робусна хемијска стабилност значи продужени животни век цеви, смањене захтеве за одржавањем и ниже укупне трошкове поседовања.

Побољшана механичка издржљивост за продужени радни век:Снажна сила везивања између ТаЦ премаза и графитне подлоге, заједно са инхерентном тврдоћом ТаЦ обложене цеви, пружа изузетну отпорност на хабање, ерозију и механичка напрезања. Ова побољшана издржљивост значи дужи радни век и смањено време застоја за замену, побољшавајући ефикасност процеса и пропусност.