Чврсти ЦВД СиЦ прстенови

Семицорек чврстаЦВД СиЦпрстенови се обично монтирају унутар реакционих комора опреме за јеткање, окружујући електростатичке стезне главе да служе као баријера у процесу и енергетски водич. Они могу концентрисати плазму унутар коморе око плочице и спречити дифузију плазме напоље, обезбеђујући тако погодно енергетско поље за прецизан процес нагризања. Ово једнолично и стабилно енергетско поље може ефикасно да ублажи ризике као што су дефекти плочице, померање процеса и губитак приноса полупроводничких уређаја узрокован неравномерном дистрибуцијом енергије и изобличењем плазме на ивици плочице.

Одличне материјалне предности

Семицорек чврсти ЦВД СиЦ прстенови су произведени од ЦВД СиЦ високе чистоће, нудећи одличне материјалне предности како би у потпуности испунили строге захтеве за високом чистоћом и високом отпорношћу на корозију у срединама за јеткање полупроводника.

1. Висока чистоћа

Чистоћа Семицорек чврстих ЦВД СиЦ прстенова може премашити 99,9999%, што значи да су прстенови скоро без унутрашњих нечистоћа. Ова изузетна чистоћа материјала у великој мери избегава нежељену контаминацију полупроводничких плоча и процесних комора од ослобађања нечистоћа током процеса јеткања полупроводника.

2. Висока отпорност на корозију

Семицорекчврсти ЦВД СиЦ прстеновимогу одржати структурни интегритет и стабилност перформанси чак и када су изложени јаким киселинама, алкалијама и плазми због супериорне отпорности на корозију ЦВД СиЦ-а, што их чини идеалним решењем за оштра окружења обраде јеткања.

3. Поуздане перформансе управљања топлотом

ЦВД СиЦ карактерише висока топлотна проводљивост и минимални коефицијент топлотног ширења, због чега Семицорек чврсти ЦВД СиЦ прстенови постижу брзо расипање топлоте и задржавају одличну стабилност димензија током рада.

4. Изузетна уједначеност отпора

Семицорек чврсти ЦВД СиЦ прстенови пружају изузетну униформност отпорности са РРГ < 5%.

Опсег отпорности: Ниска рез. (<0,02 Ω·цм), средња рез. (0,2–25 Ω·цм), висока рез. (>100 Ω·цм).

Прецизна контрола квалитета

Семицорек чврсти ЦВД СиЦ прстенови се обрађују и испитују према ригорозним стандардима како би у потпуности испунили строге захтеве за прецизност и квалитет у областима полупроводника и микроелектронике.

Површинска обрада: Прецизност полирања је Ра < 0,1µм; прецизност финог млевења је Ра > 0,1µм

Прецизност обраде се контролише унутар ≤ 0,03 мм

Инспекција квалитета: Семицорек чврсти ЦВД СиЦ прстенови ће бити подвргнути мерењу димензија, тестирању отпорности и визуелној инспекцији како би се осигурало да производ нема струготине, огреботине, пукотине, мрље и друге дефекте.