Семицорек силиконски постоље, често занемарена, али критично важна компонента, игра виталну улогу у постизању прецизних и поновљивих резултата у процесима дифузије и оксидације полупроводника. Специјализована платформа, на којој се налазе силиконски чамци у пећима на високим температурама, нуди јединствене предности које директно доприносе побољшаној уједначености температуре, побољшаном квалитету плочице и на крају, супериорним перформансама полупроводничких уређаја.**
1. Семицорек силиконски постоље стабилизује процесно окружење за оптималне резултате:
Стварање стабилне основе за кристалне чамце:Силиконско постоље пружа робусну и термички стабилну платформу за силиконске чамце у комори пећи на високим температурама. Ова стабилност осигурава да чамци задрже своју позицију и оријентацију током целог процеса, спречавајући нежељено померање или нагињање које би могло пореметити динамику протока гаса и угрозити уједначеност температуре.
Повећање уједначености температуре у реакционој комори:Ефикасним изоловањем силиконског чамца од пода и зидова пећи, силицијумски постоље минимизира губитак топлоте кроз проводљивост и промовише равномернију дистрибуцију температуре унутар топлотне реакционе цеви. Ова побољшана способност управљања топлотом је кључна за постизање конзистентних и поновљивих профила дифузије или оксидације преко целе површине плочице.
Повећање ефикасности изолације за оптимизовану употребу енергије:Инхерентна својства топлотне изолације силицијумског постоља доприносе енергетски ефикаснијем процесу минимизирајући губитак топлоте у околину. Ово се преводи у брже циклусе грејања и хлађења, смањену потрошњу енергије и на крају, ниже укупне трошкове обраде.
2. Синергија материјала за врхунски квалитет вафла:
Одговарајућа термичка експанзија за смањени напон на плочици:Силиконско постоље, произведено од истог силицијумског материјала високе чистоће као и сами чамци и плочице, нуди кључну предност у односу на алтернативне материјале као што су кварц или силицијум карбид. Ова синергија материјала обезбеђује да се постоље, чамац и плочице шире и скупљају скоро идентичним брзинама током циклуса грејања и хлађења, минимизирајући ризик од топлотног стреса, савијања плочице и кристалографских дефеката који могу негативно утицати на принос и перформансе уређаја.
Минимизирање контаминације и неусклађености решетки:Употреба силицијума високе чистоће и за Силицијумско постоље и за чамац елиминише могућност контаминације од различитих материјала, обезбеђујући нетакнуто окружење за обраду вафла. Ова компатибилност материјала такође минимизира ризик од неусклађености решетке на интерфејсу вафер-боат, додатно доприносећи побољшаном квалитету кристала и смањеној густини дефеката.