Фокусни прстенови од силицијум карбида

Фокусни прстенови од силицијум карбидасе обично инсталирају у реакционој комори опреме за јеткање, постављене око површине носача плочице електростатичке стезне главе. Овај распоред инсталације може успешно попунити висинску разлику између ивице плочице и електроде, фокусирајући плазму у реакционој комори на површину плочице како би се постигло једнолично нагризање и такође спречавајући дифузију плазме напоље са ивице плочице како би се избегао проблем прекомерног нагризања ивице плочице.

Висококвалитетне компоненте за гравирање могу обезбедити стабилно окружење електричног поља за процес гравирања. Семицорек-ови фокусни прстенови од силицијум карбида су произведени од високих перформансиматеријали од силицијум карбидапутем хемијског таложења паре. Наши фокусни прстенови су у стању да подесе дистрибуцију електричног поља око плочице, значајно смањујући девијације јеткања или појаве пражњења изазване неуједначеним електричним пољима.

Полупроводничке плочице су лако подложне контаминацији честицама, тако да се процеси јеткања плазмом морају изводити у ултра чистим коморама за реакцију јеткања са јонима. Као примарна компонента опреме за гравирање, фокусни прстенови од силицијум карбида долазе у директан контакт са ивицом плочице у стварном раду, што је такође потребно да би се испунили ултра-високи стандарди чистоће. Семицорек-ови фокусни прстенови од силицијум карбида нуде предности високе чистоће и ниског садржаја нечистоћа, што може прецизно да испуни строге захтеве за чистоћом процеса полупроводничког јеткања. Ово у великој мери доприноси смањењу дефекта плочице и побољшава принос производње вафла.

Током процеса јеткања плазмом, гасови за јеткање као што су флуор и кисеоник се уводе у реакциону комору. Отпорност опреме за јеткање на хемијску корозију је озбиљно угрожена дуготрајном корозијом узрокованом процесним гасовима. Са својом супериорном отпорношћу на плазма корозију, силицијум карбид је оптималан избор материјала за производњу фокусног прстена. Смањењем могућности оштећења компоненти повезаних са корозијом и минимизирањем потребе за честом заменом и одржавањем, фокусни прстенови од силицијум карбида могу значајно повећати ефикасност производње полупроводничких плочица.