СиЦ грејни филамент

Семицорек СиЦ грејни филамент, грејни елемент високог вакуума развијен за обраду плочица у производњи нових полупроводника, је иновативни грејни елемент дизајниран саграфитно језгрои високе чистоћепремаз од силицијум карбида. Специјални филамент користи топлотну проводљивост графита и издржљивост и заштиту СиЦ, што резултира стабилним и енергетски ефикасним грејачем током времена. СиЦ грејни филамент је дизајниран да равномерно загрева плочице и постигне спецификацију, што га чини одличном компонентом за високотемпературну обраду полупроводника, као што су епитаксија, дифузија и жарење.

. Специјални филамент користи топлотну проводљивост графита и издржљивост и заштиту СиЦ, што резултира стабилним и енергетски ефикасним грејачем током времена. СиЦ грејни филамент је дизајниран да равномерно загрева плочице и постигне спецификацију, што га чини одличном компонентом за високотемпературну обраду полупроводника, као што су епитаксија, дифузија и жарење.

Кључни квалитет СиЦ грејног филамента је способност да обезбеди равномерно загревање плочице. Варијације температуре на плочи могу довести до кварова или губитка приноса. СиЦ грејни филамент има одличну топлотну проводљивост, а чврсти дизајн филамента обезбеђује да топлота буде стабилнија и уједначенија, ограничавајући топлотне градијенте за апсолутну контролу процеса.

СиЦ грејни филамент је прилагодљив, вредност електричног отпора сваког филамента се може прилагодити за свој процесни алат и радно окружење. Ово прилагођавање омогућава технологији силицијум карбида да контролише вредност отпора геометрије филамента, дебљине премаза и својстава материјала. СиЦ грејни филамент може да стане у много различитих дизајна пећи са много различитих величина плочице и рецептура процеса. Ово је посебно повољно за произвођаче полупроводника, јер омогућава ефикасније одвијање текућих процеса и одржава компатибилност са системима који су већ на снази.  Трећа карактеристика перформанси је издржљивост. У високотемпературним полупроводничким процесима, грејни елемент је изложен веома агресивном хемијском окружењу и поновљеном термичком циклусу.

Примене Семицорек СиЦ грејног филамента покривају широку лепезу процеса производње полупроводничких уређаја. Током епитаксијалног раста, на пример, грејни елемент обезбеђује стабилну и уједначену температуру супстрата за наношење висококвалитетних кристалних филмова.