СИЦ пресвлачени суцепци

Семицорек СИЦ обложени суцепци су дизајнирани тако да испуне пресове захтеве за производњу напредних полуводича, посебно у системима за депоновање без притиска без притиска. Прецизно дизајнирани, нуде врхунске топлотне перформансе, хемијска трајност и механичку стабилност - неопходно за окружење за следеће генерације за танку прераду филма.

У техникама депоновања која не користе притисак, попут таложења атомског слоја (АЛД), таложење хемијских паре (ЦВД) и физичко таложење паре (ПВД) за веома танке филмове, главни захтеви су јединствена температура и површинска стабилност. Јединственост нашег дизајна суцептора лежи у чињеници да укључује високу чистоћу порозну подлогу која омогућава да се ефикасно ради под вакуумским или у готово вакуумским условима и тако смањују топлотни стрес и пружање јединственог преноса енергије преко површине резина.

Структура са више рупа је кључна иновација: Помаже у смањењу топлотне масе, промовише чак и дистрибуцију протока гаса и ублажава флуктуације притиска које би иначе могле угрозити једноличност таложења. Ова структура такође доприноси бржим циклусима топлотне рампе и хлађење, унапређивањем укупне пропусности и контроле процеса.

Нудимо низ различитих величина суцептора, геометрија и порозности да се подударају са разним дизајном система и димензијама таложења. Модуларна природа нашег производног процеса омогућава прилагођавање да задовољи одређене топлотне, механичке и хемијске захтеве клијентовог танког филмског процеса.

Семицорек СИЦ пресвучен суцептор је раствор високог перформанси прилагођен јединственим изазовима таложења ултратхин филма без притиска. Његова комбинација порозног структурног дизајна и робусног СИЦ премаца омогућава оптималну подршку за високо прецизне производне процесе полуводича, омогућавајући бољи квалитет филма, већим приносима и нижим оперативним трошковима.