СиЦ Цоатед ПСС Етцхинг Царриер

Носачи плочица који се користе у епиксијалном расту и обради при руковању плочицама морају издржати високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек СиЦ Цоатед ПСС Етцхинг Царриер конструисан посебно за ове захтевне апликације опреме за епитаксију. Наши производи имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Не само за фазе таложења танког филма као што су епитаксија или МОЦВД, или обраду плочица као што је јеткање, Семицорек испоручује ултра чисти СиЦ Цоатед ПСС Етцхинг Царриер који се користи за подршку плочицама. Код плазма или сувог гравирања, ова опрема, епитаксијски пријемници, палачинке или сателитске платформе за МОЦВД, прво се подвргавају окружењу таложења, тако да има високу отпорност на топлоту и корозију. СиЦ Цоатед ПСС Етцхинг Царриер такође има високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

ПСС (сафирна подлога са узорком) носачи за нагризање се користе у производњи ЛЕД (Лигхт Емиттинг Диоде) уређаја. ПСС носач за нагризање служи као супстрат за раст танког филма галијум нитрида (ГаН) који формира ЛЕД структуру. Носач ПСС гравирања се затим уклања из ЛЕД структуре помоћу процеса мокрог јеткања, остављајући иза себе површину са узорком која побољшава ефикасност извлачења светлости ЛЕД-а.

Параметри СиЦ Цоатед ПСС Етцхинг Царриер

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Хеат Цапацити	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике ПСС носача за јеткање високе чистоће обложеног СиЦ

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију високе температуре, отпорност на корозију.