Цев за кварцну пећ

Семицорек цијев кварцне пећи, чамци за вафле, кварцне лончиће за раст монокристала силикона су направљени од високе чистоћекварцни материјалл. Кварц се широко користи у индустрији полупроводника, а кварц високе чистоће је важан потрошни материјал у производњи плочица. Главно циљно тржиште кварцних делова у пољу полупроводника је процес дифузије и јеткања у производњи плочица, може се поделити у две главне категорије: делови са високом температуром и делови са ниском температуром.

1. Високотемпературни делови су цијев кварцне пећи, чамац за плочице, држач за чамце итд. Они морају директно или индиректно да контактирају са силицијумском плочицом у високотемпературном окружењу, углавном су направљени од материјала топљеног кварцног стакла, произведеног термичком обрадом.

2. Делови на ниској температури су кварцни прстенови у процесу гравирања, укључујући касете, резервоаре за чишћење у процесу чишћења. Углавном се користе у окружењу ниске температуре, које су углавном направљене од топљеног кварцног стакла, произведеног хладном обрадом.

Компоненте у високотемпературној зони се троше брже, али се типично користе у системима са више плочица (један носач држи више силицијумских плочица), док се компоненте у зони ниских температура троше спорије, али се користе у системима са једном вафлом (један носач држи једну силицијумску плочицу); стога је укупна величина тржишта за оба релативно слична.

Пећ је област у којој се плочице подвргавају високотемпературном процесу загревања, састоји се од цеви кварцне пећи, реактора и неколико грејача, широко се примењује у дифузионим, оксидационим, РТП процесима у обради полупроводника. Пећ је углавном подељена на хоризонталне и вертикалне типове :. У хоризонталној пећи, облатне се постављају на кварцни чамац, који се заузврат поставља на СиЦ носач. Постоје и адаптивне преграде на предњој и задњој страни. Носач се гура у цев кварцне пећи, а облатне се подвргавају реакцији у зони константне температуре. У вертикалној пећи, облатне се постављају на кварцни торањ, а затим се полако подижу у цев кварцне пећи ради обраде.

Због високих температура укључених у горе наведене процесе, да би се спречила тешка деформација и колапс цеви кварцне пећи након вишекратне и дуже употребе, током производње треба користити цијев кварцне пећи која је отпорна на деформације и колапс и која има дуг радни век.

Ево предности одкварццев за пећ:

1. Отпорност на високе температуре. Кварцно стакло има тачку омекшавања од приближно 1730 ℃ и може се користити дуже време на 1150 ℃, са краткорочном максималном температуром која достиже 1450 ℃.

2. Отпорност на корозију. Осим флуороводоничне киселине, кварц високе чистоће тешко реагује хемијски са другим киселим супстанцама. На високим температурама може издржати корозију од сумпорне киселине, азотне киселине, хлороводоничне киселине, водене воде, неутралних соли, угљеника и сумпора. Његова отпорност на киселине је 30 пута већа од керамике и 150 пута већа од нерђајућег челика.  Његова хемијска стабилност, посебно на високим температурама, не може се поредити са било којим другим инжењерским материјалом.

3. Добра термичка стабилност. Кварц високе чистоће има изузетно низак коефицијент топлотног ширења и може да издржи драстичне промене температуре.  Загревање кварца високе чистоће на око 1100 ℃, а затим потапање у воду собне температуре неће довести до његовог разбијања.

4. Добре перформансе преноса светлости. Кварц високе чистоће има добре перформансе преноса светлости у целом спектру од ултраљубичастог до инфрацрвеног. Пропустљивост видљиве светлости је изнад 93%, ау ултраљубичастом спектру максимална пропусност може достићи и преко 80%.

5. Добре перформансе електричне изолације. Отпорност кварца високе чистоће је десет хиљада пута већа од обичног кварцног стакла, што га чини одличним материјалом за електричну изолацију, који поседује добра електрична својства чак и на високим температурама.