Кварцни лончић за извлачење силицијумског монокристала

Семицорек кварцни лончић за извлачење силицијумских монокристала је основна компонента у производњи силицијумских плочица. Фаза припреме монокристала одређује техничке параметре, као што су пречник, оријентација кристала, тип допинга, опсег отпорности и дистрибуција, концентрација кисеоника и угљеника, животни век мањинских носача и дефекти решетке силицијума. Захтева да се микро-дефекти, концентрација кисеоника, металне нечистоће и уједначеност концентрације носача контролишу унутар одређеног опсега.

У процесу раста монокристала Чохралског, кварцни лончић за извлачење монокристала силицијума треба да издржи температуре веће од тачке топљења силицијума (1420 ℃). Кварцни лончић је углавном провидан и састављен од више слојева.

Спољни слој је област са високом густином мехурића, која се назива композитни слој мехурића; унутрашњи слој је прозирни слој од 3-5 мм, који се назива слој за исцрпљивање мехурића. Присуство слоја за исцрпљивање мехурића смањује густину контактне површине лончић-раствор, чиме се побољшава раст монокристала.

Пошто унутрашњи слој кварцног лончића директно долази у контакт са силицијумском течношћу, он ће се непрекидно растварати у силицијум, а микро мехур у провидном слоју лончића ће нарасти да пукне и ослободити кварцне честице и микро мехуриће. Ове нечистоће затим пролазе кроз цео растоп силицијума, директно утичу на кристализацију и квалитет монокристала силицијума.

Куартз Цруциблеза Силицијум Сингле Цристал Пуллинг директно долази у контакт са силицијумском течношћу, тако да нечистоће и мехурићи који нису ефикасно контролисани у процесу производње, очигледно ће утицати на резултате извлачења кристала, чак и довести до неуспеха извлачења кристала и кварења материјала/отпада. Пошто монокристалне силицијумске плочице захтевају високу чистоћу, а цена процеса извлачења једног кристала је висока, постоје високи захтеви за кварцни лонац за извлачење силицијумских монокристала у погледу чистоће, перформанси мехурића и стабилности квалитета.

Нечистоће: Нечистоће директно утичу на перформансе и принос монокристала. Дакле, садржај нечистоћа укварцлончић који је у директном контакту са топљењем силицијума је кључан. Прекомерне нечистоће у лончићу често доводе до кристализације у кварцном лончићу (локално накупљање јона нечистоћа које доводи до смањења вискозитета). Ако се кристализација деси близу унутрашње површине, прекомерно дебео локални слој кристализације је склон љуштењу, спречавајући даљи раст монокристала; ако се на спољашњем зиду формира дебео слој кристализације, вероватно ће доћи до испупчења на дну или закривљености; ако кристализација продре у тело лончића, то лако може довести до низа озбиљних последица као што је цурење силицијума.

лончић који је у директном контакту са топљењем силицијума је кључан. Прекомерне нечистоће у лончићу често доводе до кристализације у кварцном лончићу (локално накупљање јона нечистоћа које доводи до смањења вискозитета). Ако се кристализација деси близу унутрашње површине, прекомерно дебео локални слој кристализације је склон љуштењу, спречавајући даљи раст монокристала; ако се на спољашњем зиду формира дебео слој кристализације, вероватно ће доћи до испупчења на дну или закривљености; ако кристализација продре у тело лончића, то лако може довести до низа озбиљних последица као што је цурење силицијума.