Семицорек издржљиви фокусни прстенови за обраду полупроводника су дизајнирани да издрже екстремна окружења плазма комора за нагризање које се користе у обради полупроводника. Наши фокусни прстенови су направљени од графита високе чистоће обложеног густим премазом од силицијум карбида (СиЦ) отпорног на хабање. СиЦ премаз има висока својства отпорности на корозију и топлоту, као и одличну топлотну проводљивост. Ми наносимо СиЦ у танким слојевима на графит користећи процес хемијског таложења паре (ЦВД) да бисмо побољшали век трајања наших фокусних прстенова.
ОпширнијеПошаљи упит