Вакумска глава од порозне глинице

Семицорек пороус Алумина Вацуум Цхуцк је носећа платформа за фиксирање производа коришћењем принципа вакуум усисавања, његов део преносног вакуума је типично порозна керамичка плоча од глинице. Порозна керамичка плоча је уграђена у упуштену рупу у бази, њен периметар је спојен и запечаћен за базу, а основа је обрађена густим керамичким или металним материјалима. Под минус притиском у радном окружењу, стезна глава је повезана са вакуум пумпом кроз порозну структуру унутар керамичке плоче да би увукла ваздух, чинећи подручје испод плочице вакуумско подручје које је много ниже од спољашњег атмосферског притиска. Под дејством велике разлике притиска, плочица је чврсто причвршћена за површину стезне главе. Типично, што је већи степен вакуума испод плочице, то је чвршће приањање између стезне главе и радног предмета и јача је сила адсорпције.

У индустрији полупроводника и микроелектронике, прецизност није само услов – она је стандард. Вакумска стезна глава од порозне глинице (позната и као керамичка вакуумска глава) је критична компонента дизајнирана да обезбеди уједначено усисавање без оштећења осетљивих подлога током процеса литографије, прегледа и резања на коцкице.

Шта је вакуумска глава од порозне глинице?

За разлику од традиционалних металних стезаљки које користе машинске жлебове за стварање усисавања, порозна керамичка стезна глава користи специјализовану микроскопску структуру пора. Ово омогућава да се вакуумски притисак равномерно распореди по целој површини радног предмета, спречавајући „рупице“ или деформације које се често виде код дизајна са жлебовима.

Кључне техничке спецификације

Да бисмо разумели перформансе ових компоненти, погледаћемо својства материјала Ал2О3 високе чистоће:

Зашто изабрати порозну глиницу у односу на традиционалне материјале?

1. Врхунска равност и униформност

Микроскопска структура пора обезбеђује да се вакуумска сила примењује на 100% површине контакта. Према индустријским подацима, равномерно усисавање смањује напрезање плочице до 40% у поређењу са традиционалним стезним главама од нерђајућег челика са жљебовима.

2. Висока термичка стабилност

Керамика од глинице има низак коефицијент топлотног ширења (ЦТЕ). Приликом обраде на високим температурама или ласерске инспекције, стезна глава задржава своје димензије, осигуравајући да дубина фокуса остане константна.

3. ЕСД и контрола контаминације

Алуминијум високе чистоће је хемијски инертан и природно отпоран на корозију. Штавише, специјализовани „црни глиница“ или антистатички премази се могу применити да би се спречило електростатичко пражњење (ЕСД), које је одговорно за скоро 25% губитка приноса полупроводника у неким срединама.

Примарне примене у високотехнолошкој производњи

Обрада полупроводничких плочица

Примарни случај употребе је у фотолитографији и сондирању вафла. Екстремна равност (<2μм) осигурава да плочица остане унутар уске дубине поља напредних оптичких система.

Производња танкослојних соларних ћелија

За флексибилне или изузетно танке подлоге, традиционални вакуумски канали могу изазвати физичка оштећења. "Прозрачна" површина порозне керамике делује као нежни ваздушни јастук или усисна плоча, штитећи крхке слојеве.

Брушење оптичких сочива

Порозна глиница се користи за држање сочива током прецизног брушења, где би свака вибрација или неуједначен притисак довела до оптичких аберација.

Често постављана питања (ФАК)

П1: Како чистите вакуумску стезну главу од порозне глинице?

О: Чишћење је од виталног значаја за одржавање усисавања. Препоручујемо коришћење ултразвучног чишћења у дејонизованој води или специјализованим растварачима. Пошто је глиница хемијски стабилна, може издржати већину киселих или алкалних средстава за чишћење. Уверите се да је стезна глава печена сува да бисте уклонили влагу из пора.

П2: Може ли се величина пора прилагодити специфичним подлогама?

О: Да. Мање поре (приближно 10 μм - 20 μм) су боље за ултра танке филмове како би се спречило „проливање“, док веће поре нуде већи проток ваздуха за теже или порозније радне комаде.

П3: Која је максимална радна температура?

О: Док сама керамика може да издржи температуре веће од 1500℃, склоп вакуумске стезне главе (укључујући заптивке и кућишта) је типично оцењен на до 250℃ до 400℃ у зависности од методе везивања.