ПЕЦВД Солар Грапхите Боат

СемицорекПЕЦВД соларни графитни чамцису прецизно направљени од високе чистоћеизостатски графит. Сваки ПЕЦВД чамац од соларног графита из Семицорек-а пролази кроз прецизну машинску обраду, инспекцију димензија и тестирање електричних перформанси како би се осигурале стабилне перформансе у окружењима са високом температуром плазме.

Током ПЕЦВД обраде, ПЕЦВД соларни графитни чамац носи силиконске плочице у ПЕЦВД реакциону комору и служи као електрода повезана са РФ напајањем. Када се наизменични напон примени између суседних плоча за чамце, успоставља се електрично поље. Под утицајем електричног поља, реактивни гасови (као што су силан СиХ₄ и амонијак НХ₃) пролазе кроз сјајно пражњење и стварају плазму. Јони и слободни радикали у плазми разлажу гасове прекурсоре, формирајући јоне силицијума (Си) и азота (Н). Ови јони се комбинују да би формирали молекуле силицијум нитрида (Си₃Н₄), који се затим таложе на површину силицијумске плочице и формирају танке филмове.

1. Изузетна термичка стабилност

Са коефицијентом топлотног ширења блиским коефицијенту силицијумских плочица, СемицоркПЕЦВД соларни графитни чамацдоживљава занемарљиву промену димензија при загревању, чиме се поуздано избегава оштећење плочица изазвано термичким стресом.

2. Супериорна електрична и топлотна проводљивост

Семицорек ПЕЦВД соларни графитни чамци имају одличну електричну проводљивост, обезбеђујући брзу проводљивост РФ струје и уједначену дистрибуцију електричног поља, што је корисно за стабилно стварање плазме и равномерно таложење силицијумске плочице. Поред тога, његова супериорна топлотна проводљивост олакшава брзо хлађење и загревање, побољшавајући ефикасност производње док спречава локализовано прегревање да утиче на квалитет таложења.

3. Јака хемијска стабилност

Захваљујући употреби премиум материјала, Семицорек ПЕЦВД соларни графитни чамац је мање склон реакцији са реактивним гасовима и плазмом. Ова карактеристика значајно спречава неравномерну дистрибуцију електричног поља узроковану корозијом, деформацијом или таложењем нечистоћа у графитном чамцу, чиме се обезбеђује стабилност процеса таложења и квалитет површине силицијумских плочица.

4. Изузетна механичка чврстоћа

Са својом изванредном механичком чврстоћом, Семицорек ПЕЦВД соларни графитни чамац може лако да издржи тежину оптерећења на плочице велике запремине. Они могу издржати механичко напрезање настало током утовара и транспорта дуго времена без лаког деформисања или ломљења.

5. Одлична конзистенција димензија

Семицорек ПЕЦВД соларни графитни чамац постиже изузетну тачност димензија на свим компонентама кроз прецизну машинску обраду. Он држи силицијумску плочицу у фиксном положају током таложења, што обезбеђује равномерно таложење и компатибилност са аутоматизованом производњом.