ПБН електростатичка стезна глава

Материал Пропертиес офПБНЕлецтростатиц Цхуцк

Отпорност на високе температуре и диелектрична чврстоћа

ТхеПБНЕлецтростатиц Цхуцк је познат по својој изузетној отпорности на високе температуре, особини која је кључна у процесу производње полупроводника. Пиролитички бор нитрид (ПБН), материјал који се користи у конструкцији стезне главе, показује отпорност већу од најчешће коришћене керамике, што је кључно за одржавање силе Јохнсен-Рахбек (Ј-Р) стезне главе до температуре од 1050°Ц. Ова висока отпорност, заједно са њеном високом диелектричком чврстоћом, осигурава да се електрични квар ефикасно спречи чак и под интензивном топлотом, чиме се повећава поузданост рада стезне главе.

Термичка униформност и отпорност на ударце

Хексагонална решеткаста структура ПБН-а, припремљена хемијским таложењем паре на температурама већим од 1500°Ц, доприноси његовој изванредној термичкој униформности и отпорности на ударце. Грејни елементи високе густине унутарПБНЕлектростатичка стезна глава омогућава постизање конзистентног топлотног профила плочице са добром униформношћу од 1,1–1,5% на температурама од 600–800°Ц. Штавише, стезна глава заснована на ПБН-у показује изузетну отпорност на топлотни удар и нижу термичку масу, омогућавајући јој да достигне 600°Ц при брзој брзини од 23°Ц/сец без ризика од пуцања или раслојавања.

Прилагодљиво вишезонско грејање

ПБН електростатичка стезна глава је веома прилагодљива, са могућностима грејања у више зона које омогућавају максималну контролу температуре. Овај ниво прилагођавања осигурава да свака стезна глава може бити прилагођена специфичним захтевима појединачних купаца, пружајући флексибилно решење за различите апликације обраде полупроводника.

Апплицатионс офПБНЕлецтростатиц Цхуцк

Ионска имплантација и руковање плочицама

ПБН електростатичка глава је пожељни апарат за руковање плочицама у процесима имплантације јона. Његова способност да држи плочице на температурама већим од 1000°Ц чини га једном од најсвестранијих електростатичких стезаљки на тржишту. Ова свестраност је додатно побољшана његовом способношћу да одржава плочице у веома уским температурним распонима, захваљујући грејним елементима високе густине, вишезонским грејним елементима.

Имплантација јона силицијум карбида

У специфичној примени имплантације СиЦ јона,ПБНЕлектростатичка стезна глава нуди одрживо решење за изазове загревања и руковања плочицама. Његове могућности двоструке функције, које укључују велику силу затезања, велику снагу грејања, добру термичку униформност и брз одзив, чине га идеалним избором за решавање сложених захтева имплантације СиЦ јона.

Производња полупроводника

ПБН електростатичка стезна глава игра кључну улогу у производњи полупроводника, где су прецизно руковање плочицама и контрола температуре од суштинског значаја. Његова висока отпорност на топлотни удар и могућност брзог повећања температуре чине га погодним за напредне полупроводничке процесе који захтевају ригорозно управљање температуром и брз термички циклус.