Колико су важни чамци од силицијум карбида?

У производњи полупроводника, поред основне процесне опреме као што су фотолитографија и гравирање, друга врста фундаменталне компоненте игра кључну улогу у стабилности процеса:чамац за наполитанке.

Нарочито последњих година, са развојем високотемпературних процеса и полупроводника треће генерације, чамци од силицијум карбида, направљени од силицијум карбида, тихо постају индустријски стандард.

Дакле, какву улогу игра ова наизглед безначајна компонента у производњи полупроводника?

01 Основне функције чамца за плочице

Чамац за вафле је процесни носач који се користи за држање вафла, првенствено који се користи у опреми за обраду на високим температурама.

У процесу производње полупроводника, плочице пролазе кроз више корака термичке обраде, као што су дифузија, оксидација, жарење и хемијско таложење паре (ЦВД). Током ових процеса, облатне се обично серијски обрађују у цевну опрему за пећи, а чамац за вафле служи следећим функцијама:

- Подршка за више плочица и одржавање стабилног размака

- Обезбеђивање позиционе стабилности вафла у окружењима са високим температурама

- Обезбеђивање равномерног протока гаса у комбинацији са опремом

Структура и својства материјала чамца за плочице директно утичу на расподелу топлотног поља и конзистентност процеса.

02 Структурне карактеристике чамаца од силицијум карбида

Чамци од силицијум карбидаобично користе дизајн оквира, који нуди високу структурну стабилност. Типичне карактеристике укључују:

- Вишеслојна структура утора за прецизно позиционирање плочице

- Отворени дизајн за лак проток гаса између плочица

- Оквир високе крутости за смањење ризика од деформације при високим температурама

У зависности од врсте опреме, чамци могу бити дизајнирани као вертикалне или хоризонталне структуре и подржавају различите величине плочица (нпр. 6 инча, 8 инча, 12 инча).

03 Избор материјала: ЗаштоСилицијум карбид?

Како се полупроводнички процеси развијају ка вишим температурама и већој чистоћи, традиционални материјали као што су кварц и глиница су све недовољни. Насупрот томе, силицијум карбид нуди предности у неколико димензија перформанси.

1. Отпорност на високе температуре: Силицијум карбид показује добру структурну стабилност у температурном опсегу од приближно 1200℃ до 1400℃. Под одређеним условима високе чистоће или посебним процесним условима, може се користити у окружењима са још вишим температурама. Не испољава појаву топљења или значајног омекшавања сличне металним материјалима на високим температурама.

2. Висока топлотна проводљивост: Силицијум карбид поседује високу топлотну проводљивост, што помаже у смањењу температурних разлика између плочица, чиме се побољшава конзистентност процеса.

3. Низак коефицијент термичке експанзије: Силицијум карбид има низак коефицијент топлотног ширења, што смањује утицај топлотног напрезања на плочице током процеса грејања и хлађења.

4. Хемијска стабилност: Силицијум карбид показује добру хемијску стабилност у различитим атмосферама, укључујући атмосфере оксидације и редукције. Међутим, и даље ће бити подвргнуто спорој реакцији оксидације у окружењу са високом температуром кисеоника, формирајући заштитни слој силицијум диоксида.

5. Чистоћа материјала и контрола контаминације: Силицијум карбид за полупроводнике обично има строго контролисан садржај нечистоћа како би се смањио ризик од контаминације на површини плочице. Постоје значајне разлике између материјала који се користе у различитим процесним разредима.

04 Области примене

Чамци од силицијум карбида се тренутно широко користе у више области, укључујући:

- Термичка обрада у производњи интегрисаних кола

– Производња енергетских полупроводничких уређаја (нпр. СиЦ уређаји)

- Високотемпературна обрада фотонапонских силицијумских плочица

- Истраживање и развој полупроводничких материјала и процеса

Његове предности су још израженије у сценаријима који захтевају високу температуру, јаку корозију или високу чистоћу.

Семицорек нудиСиЦ чамци за плочице, цеви за пећ, конзолна веслаитд. у високотемпературним пећима. Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом