Процеси жарења у савременој производњи полупроводника

Како технолошки чворови настављају да се смањују, формирање ултра-плитких спојева представља значајне изазове. Процеси термичког жарења укључујућиБрзо термичко жарење (РТА)и жарење флеш лампе (ФЛА) су виталне технике које одржавају високе стопе активације нечистоћа док минимизирају дифузију, обезбеђујући оптималне перформансе уређаја.

1. Ултра-плитко формирање споја:

Како се технолошки чворови смањују, формирање ултра-плитких спојева постаје све изазовније. Технике попут брзог термичког жарења (РТА) и жарење флеш лампе (ФЛА) су кључни за постизање високих стопа активације нечистоћа уз минимизирање дифузије, чиме се осигуравају оптималне перформансе уређаја.

2. Модификација Хигх-к диелектрика врата:

Жарење након таложења (ПДА) значајно побољшава електрична својства високок гејт диелектрика. Овај процес смањује струје цурења гејта и повећава диелектричне константе, које су од виталног значаја за напредне логичке и меморијске уређаје.

3. Формирање металних силицида:

Оптимизација металних силицида, као што су ЦоСи и НиСи, је од суштинског значаја за побољшање контакта и отпорности на масу. Прецизна контрола над условима жарења олакшава стварање идеалних фаза легуре, повећавајући укупну ефикасност уређаја.

4. Технологије 3Д интеграције:

У технологијама као што су 3Д НАНД и 3Д ДРАМ, процеси жарења морају да се примењују на више слојева. Брзе термичке технике играју кључну улогу у осигуравању да сваки слој постигне оптималне перформансе.

Жарење је кључно у производњи полупроводника, омогућавајући поправку оштећења на решетки, активацију нечистоћа, модификацију филма и формирање металних силицида кроз прецизну контролу температуре, времена и термалних буџета. Како се технолошки чворови смањују, напредне методе жарења попутРТА, ФЛА и ласерско жарење са шиљцима постали су мејнстрим. Гледајући унапред, процес жарења ће наставити са иновацијама како би се задовољили захтеви нових материјала и уређаја.

Семицорек нуди водеће у индустријирешења за жарење, осигуравајући да ваши полупроводнички уређаји испуњавају највише стандарде перформанси са прецизношћу и поузданошћу.

Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом