Како се заправо производе керамичке електростатичке стезне главе?

Традиционалне методе стезања плочице укључују механичко стезање које се обично користи у традиционалној механичкој индустрији и лепљење воском, од којих оба могу лако оштетити плочицу, изазвати савијање и контаминирати је, значајно утичући на прецизност обраде.

Како су се развиле усисне главе и зашто суКерамичке електростатичке стезне главеПожељно?

Временом су развијене вакуумске стезне главе од порозне керамике. Ове стезне главе користе негативни притисак који се формира између силицијумске плочице и керамичке површине да држе плочицу, што може изазвати локалну деформацију и утицати на равност. Стога, последњих година,керамичке електростатичке стезне главе, који обезбеђују стабилну и уједначену силу адсорпције, спречавају контаминацију плочице и ефикасно контролишу температуру силицијумске плочице, постали су идеални алати за стезање ултра танких плочица.

Како је производни процесКерамичке електростатичке стезне главеИзвршено?

Генерално, користи се технологија вишеслојног печења керамике, која укључује процесе као што су ливење траке, сечење, сито штампа, ламинација, вруће пресовање и синтеровање.

За Кулонов типелектростатичке стезне главе, диелектрични слој не садржи проводне материјале. Укључује мешање керамичких прахова, растварача, дисперзаната, везива, пластификатора и помоћних средстава за синтеровање да би се створила стабилна суспензија. Ова суспензија се затим премазује помоћу ножа, осуши и сече да се формирају керамички зелени листови одређене дебљине. За ЈР-типелектростатичке стезне главе, додатни регулатори отпорности (проводни материјали) се мешају да би се постигла потребна отпорност Ј-Р слоја, након чега следи ливење траке да би се формирали зелени листови.

Сито штампа се првенствено користи за припрему електродног слоја. Кондуктивна паста се прво сипа на један крај плоче за сито штампу. Под дејством брисача на сито штампачу, проводљива паста пролази кроз мрежасте отворе плоче сита и таложи се на подлогу. Процес штампања је завршен када брисач равномерно распореди сребрну пасту кроз мрежицу ​​за сито.

Зелени керамички листови се слажу по траженом редоследу (слој подлоге, слој електроде, слој диелектрика) и броју слојева. Затим се притискају заједно под одређеним условима температуре и притиска да би се формирало комплетно зелено тело. Кључно је осигурати да се притисак равномерно распоређује по целој површини зеленог тела како би се гарантовало једнолично скупљање током компресије.

Коначно, комплетно зелено тело се подвргава интегрисаном синтеровању у пећи. Мора се успоставити одговарајући температурни профил како би се осигурала контрола равности и скупљања током процеса синтеровања. Извештава се да јапански НГК може да контролише стопу скупљања праха током синтеровања на око 10%, док већина домаћих произвођача и даље има стопу скупљања од 20% или више.**

Ми у Семицорек-у имамо искуство у пружању решења Керамичке електростатичке стезне главеидруги керамички материјалипримењује се у полупроводничким и фотонапонским секторима, ако имате било каква питања или су вам потребни додатни детаљи, не оклевајте да нас контактирате.

Контакт телефон: +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом