Шта је електростатичка глава (ЕСЦ)?

У производњи полупроводника, прецизност и стабилност процеса гравирања су најважнији. Један од критичних фактора у постизању висококвалитетног јеткања је осигурање да облатне буду савршено равне на тацни током процеса. Свако одступање може довести до неуједначеног бомбардовања јонима, узрокујући нежељене углове и варијације у стопама јеткања. Да би решили ове изазове, инжењери су се развилиЕлектростатичке стезне главе (ЕСЦ), који су значајно побољшали квалитет и стабилност јеткања. Овај чланак се бави дизајном и функционалношћу ЕСЦ-а, фокусирајући се на један кључни аспект: електростатичке принципе који стоје иза адхезије плочице.

Електростатичка адхезија плочице

Принцип изаЕСЦСпособност компаније да безбедно држи плочицу лежи у њеном електростатичком дизајну. Постоје две примарне конфигурације електрода које се користе уЕСЦс: дизајн са једном електродом и са две електроде.

Дизајн са једном електродом: У овом дизајну, цела електрода је равномерно распоређена по целој површиниЕСЦповршине. Иако је ефикасан, обезбеђује умерен ниво адхезионе силе и униформности поља.

Дизајн са две електроде: Дизајн са две електроде, међутим, користи и позитивне и негативне напоне за стварање јачег и уједначенијег електростатичког поља. Овај дизајн нуди већу силу приањања и осигурава да се плочица чврсто и равномерно држи преко ЕСЦ површине.

Када се на електроде примени једносмерни напон, између електрода и плочице се ствара електростатичко поље. Ово поље се протеже кроз изолациони слој и ступа у интеракцију са задњом страном плочице. Електрично поље изазива прерасподелу или поларизацију наелектрисања на површини плочице. За допиране силицијумске плочице, слободна наелектрисања се крећу под утицајем електричног поља — позитивна наелектрисања се крећу ка негативној електроди, а негативна наелектрисања се крећу ка позитивној електроди. У случају недопираних или изолационих плоча, електрично поље изазива благо померање унутрашњих наелектрисања, стварајући диполе. Резултујућа електростатичка сила чврсто лепи плочицу за стезну главу. Јачина ове силе може се апроксимирати коришћењем Кулоновог закона и јачине електричног поља.