Облагање у термичком пољу полупроводничких монокристала силицијума

Обложени делови у полупроводничком силицијумском монокристалном топлом пољу су генерално обложени ЦВД методом, укључујући превлаку од пиролитичког угљеника,Премаз од силицијум карбидаиТантал карбид премаз, сваки са различитим карактеристикама.

Заједничке тачке: супстрат је изостатски графит високе чистоће, обично мање од 5ппм пепела; премази се користе ЦВД методом; премаз је у основи 100% угљеник или силицијум карбид; након што је површина релативно густа, гас, посебно силицијумска пара из пећи или гас силицијум оксида, може у основи бити блокиран; сопствено испаравање прашине је такође веома мало.

Разлике: стандардна дебљина премаза, превлака од пиролитичког угљеника је генерално око 40ум; Премаз од силицијум карбида се обично врши око 100ум, али према различитим потребама купаца, може се урадити 30ум~150ум, укључујући један премаз и два премаза; тантал карбид премаз је генерално 35±15ум.

Пиролитички угљенични премаз, његова густина је еквивалентна густини непорозног графита, што је око 2,2. Има ниску отпорност и високу топлотну проводљивост у паралелном правцу површине, тако да може задржати конзистентност површинске температуре, а такође има низак коефицијент топлотног ширења и висок модул еластичности. У окомитом правцу површине коефицијент топлотног ширења је већи, а топлотна проводљивост је нижа.

За производе обложене силицијум-карбидом, модул еластичности премаза је веома висок, десетине пута већи од модула еластичности унутрашњег графитног супстрата, тако да је потребно нежно руковати, како би се избегло пуцање производа.

Пиролитички угљенични премаз и премаз од силицијум карбида са свим садржајем нечистоћа је мањи од 5ппм, где је садржај главног металног елемента мањи од 0,1 или 0,01ппм, теже се носити са елементом бора је 0,01 или 0,15ппм.

Семицорек нуди висококвалитетни ЦВД премаз за полупроводнике са прилагођеном услугом. Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом