Унутрашња водична цев

Семицорек Иннер Гуиде Тубе је прецизно пројектованугљеник/угљеник (Ц/Ц) компонентадизајниран за напредне примене топлотних поља високе температуре, посебно у узгоју кристала силицијума високе чистоће. Као критични елемент у пећима за раст кристала, ова компонента игра централну улогу у обликовању и стабилизацији топлотног градијента, обезбеђујући оптимално формирање кристала и конзистентан квалитет материјала.

Произведена од угљеничног композита високе густине ојачаног угљеничним влакнима, унутрашња цев за вођство нуди изузетан структурални интегритет и термичку стабилност у екстремним условима. Са густином од ≥1,35 г/цм³ и чврстоћом на савијање од ≥110 МПа, одржава механичку робусност чак и током дужег излагања повишеним температурама. Ова својства су од суштинског значаја за производњу силицијума за полупроводнике, где чак и мање флуктуације у термичким условима могу значајно да утичу на униформност кристала и стопу дефекта.

Основна функционалност: Прецизна контрола градијента

Примарна улога Ц/Ц унутрашње водеће цеви је да конструише прецизно градијентно температурно поље. Током процеса раста кристала силицијума, он се поставља директно изнад растопа да:

Директан проток гаса: усмерава проток инертног гаса аргона, обезбеђујући да се паре силицијум оксида (СиО) ефикасно уклањају са површине растопа, спречавајући контаминацију кисеоником у кристалу.

Топлотна заштита: Штити растући кристал од директног топлотног зрачења са зидова лончића, успостављајући стрми аксијални температурни градијент неопходан за брзо, висококвалитетно извлачење кристала.

Енергетска ефикасност: Концентрисањем топлоте унутар зоне топљења и изолацијом горњих компоненти пећи, значајно смањује укупну потрошњу енергије.

Техничке спецификације и изврсност материјала

Наше унутрашње водеће цеви се производе коришћењем високе густинеКомпозити угљеник/угљеник, пружајући супериорну алтернативу традиционалном графиту. Својства материјала су оптимизована за екстремне услове полупроводничких вакуумских пећи:

Густина: ≥ 1,35 г/цм³

Чврстоћа на савијање: ≥ 110 МПа

Коефицијент термичке експанзије (ЦТЕ): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /К

Топлотна проводљивост (собна температура): ≤ 10 В/(м·К)

Индустрија

Како се индустрија креће ка већим величинама плочица (300 мм и 450 мм), захтеви за термичким пољем расту експоненцијално. Наше унутрашње водилице су компатибилне са главним ЦЗ брендовима пећи и могу се прилагодити у смислу геометрије и премаза.