Хоризонтални кварцни чамци

Хоризонтални кварцни чамциобично држе полупроводничке плочице хоризонтално унутар цеви пећи опреме за термичку обраду, загрејане спољним уређајима за грејање. Они се широко користе у захтевним процесима топлотне обраде корозивних полупроводника на високим температурама, као што су термичка оксидација, високотемпературна дифузија, жарење и процеси хемијског таложења из паре (ЦВД).

Функције Семицорек хоризонталних кварцних чамаца

1.Стабилно држање и осигурање

Семицорек хоризонтални кварцни чамци имају одличну носивост и могу константно да понуде стабилну подршку за више полупроводничких плочица. А њихов оптимизовани спољни дизајн и прецизна структура утора обезбеђују свакиваферје савршено постављен и чврсто причвршћен на хоризонталне кварцне чамце за плочице, што значајно смањује огреботине и сударе на плочицама узроковане тресењем, померањем и нагињањем током транспорта и процеса производње.

2. Помоћ уједначености процеса

Структура прореза са једнаким размаком хоризонталних кварцних плочица омогућава уредно постављање полупроводничких плочица, стварајући тако стабилно и глатко поље струјања гаса у високотемпературним пећима. Дизајн структуре постиже конзистентан контакт гаса и брзину реакције на свакој површини плочице, чиме се ефикасно смањују различити дефекти узроковани неравномерним загревањем и диференцијалним контактом гаса, као што су непотпуна оксидација плочице, неуједначено таложење танког филма и одступање концентрације допинга.

3. Дуготрајан радни век

Захваљујући врхунској отпорности на високе температуре кварцног материјала, Семицорек хоризонтални кварцни чамци могу издржати високе температуре од 1100-1200 ℃ дуго времена без деформације или топљења.кварцје хемијски инертан према гасовима који се обично користе у полупроводничким процесима, као што су кисеоник, азот и хлороводоник. Ова изузетна хемијска инертност може минимизирати ризик од корозије од процесних гасова, значајно продужавајући век трајања и смањујући време и трошкове замене опреме.