Графитни грејач за вруће зоне

Хомогена расподела температуре:Графитни грејач за врућу зону је познат по својим уједначеним карактеристикама грејања, постигнутим комбинацијом прецизне обраде материјала и прецизне машинске обраде. Ова хомогеност обезбеђује конзистентан температурни профил на целој грејној површини, минимизирајући топлотне градијенте који могу довести до неуједначене обраде плочица, смањеног приноса и недоследних перформанси уређаја.

Изузетна отпорност на корозију:Графитни грејач за врућу зону показује изузетну отпорност на разне корозивне гасове и хемикалије које се обично сусрећу у високотемпературној обради полупроводника. Ова инхерентна инертност обезбеђује дугорочну стабилност и перформансе грејача, минимизирајући ризик од контаминације и продужавајући радни век.

Супериорна отпорност на оксидацију:За разлику од конвенционалног графита, графитни грејач за врућу зону представља супериорну отпорност на оксидацију, чак и на повишеним температурама. Ова карактеристика је кључна за одржавање интегритета грејача и спречавање стварања контаминације честицама унутар коморе за обраду.

Ултра-висока хемијска чистоћа:Графитни грејач за врућу зону је обрађен да би се постигао ултра-високи ниво чистоће, минимизирајући ризик од уношења нежељених загађивача у окружење за обраду полупроводника. Ова изузетна чистоћа је неопходна за одржавање интегритета деликатних полупроводничких материјала и обезбеђивање жељених електричних и оптичких својстава произведених уређаја.

Висока механичка чврстоћа и стабилност:Графитни грејач за врућу зону поседује сјајну механичку чврстоћу и стабилност димензија на повишеним температурама, омогућавајући производњу робусних компоненти грејача способних да издрже строге услове рада на високим температурама, укључујући термичке циклусе и механички стрес.