Графитна електрода

Семицорек графитна електрода је графитна компонента високе чистоће, прецизно произведена за употребу у полупроводничким термичким апликацијама, где су електрична проводљивост, термичка стабилност и тачност димензија најважнији. У ствари, ове врсте електрода се користе у високотемпературним пећима, епитаксијским реакторима и коморама за термичку обраду, омогућавајући стабилно провођење струје, пренос топлоте и стабилност у агресивним условима температуре и атмосфере. Због изузетне чистоће, уједначености чврсте структуре и високих механичких својстава Семицорек графитних електрода, оне могу да обезбеде поуздане термичке перформансе као грејни елементи у захтевним применама полупроводника.

Графитна електрода је произведена од висококвалитетног финозрнастог графитног материјала, а свака је направљена коришћењем напредне секвенце екструзије, високотемпературне карбонизације и графитизације. Микроструктура графита је дизајнирана за приближно константну електричну отпорност, високу топлотну проводљивост и механичку стабилност. Коначни производ је топлотни проводник високе чистоће који одржава физичко стање и уједначену дистрибуцију струје у окружењима велике снаге, као и брзе флуктуације температуре.

Ултра Перформанце у нашојграфит

Било да се користи у дифузионим пећима, епитаксијалним реакторима или опреми за обраду на високим температурама, Семицорек графитна електрода пружа неупоредиве перформансе у најзахтевнијим термичким окружењима. Комбиновањем високе чистоће, прецизне геометрије и напредне обраде материјала, Семицорек испоручује решење за електроде које обезбеђује стабилну струјну проводљивост, доследно загревање и дугорочну оперативну поузданост која је неопходна за производњу полупроводника следеће генерације.

Друго, током процеса графитизације, узимајући за пример серију од 500 кг, пратимо и 8 температурних тачака. Након графитизације, насумично узоркујемо и деструктивно тестирамо 24 тачке дуж Кс, И и З осе да бисмо осигурали униформност. Већина компанија у индустрији тестира само Кс-осу, или највише КСИ-осу, при чему типични произвођачи тестирају само 6-8 тачака, а бољи тестирају 12 тачака. Тестирамо 24 поена.

У термичком пољу полупроводника, графитна електрода је критични део грејног склопа, усмеравајући електричну струју у зону грејања и омогућавајући контролисану дистрибуцију температуре кроз одређени процес, као што је оксидација, дифузија, ЛПЦВД или епитаксија. Графитна електрода мора имати поуздану радну улогу на температурама већим од 2000°Ц и то истовремено отпорна на оксидацију, савијање или контаминацију места загревања.

Семицорек графитне електроде имају изванредну електричну проводљивост, што омогућава ефикасну испоруку енергије уз минималне губитке, и поседују одличну топлотну проводљивост, омогућавајући брз и уједначен пренос топлоте у пећи. Комбинација ниске термичке експанзије и високе механичке чврстоће смањује деформацију и пуцање током термичког циклуса, дајући стабилно понашање током дугог радног века. Свака електрода је машински обрађена на строге толеранције димензија и фину завршну обраду како би се обезбедио конзистентан контакт и занемарљив електрични отпор на контактној површини.

Имајући на уму специфичне захтеве полупроводничких процеса, Семицорек може израдити прилагођене дизајне електрода како би се уклопили у било коју конфигурацију пећи и спецификацију снаге. Могу бити доступни различити пречници, дужине, типови прикључака или завршне обраде површине. Када је потребно, материјали за облагање, као што су СиЦ или пиролитички угљеник, могу се применити да подрже отпорност на оксидацију и радни век у окружењима са високим садржајем кисеоника или реактивног гаса.

Висока чистоћаграфитни материјалслужи да обезбеди невероватно ниске нивое металних нечистоћа (и гасовитих нечистоћа), често више од 99,999% угљеника. Овако низак ниво нечистоћа помаже да се избегне контаминација полупроводничких плочица током термичке обраде. У комбинацији са значајном дубином обраде и полираном завршном обрадом површине, Семицорек графитне електроде испуњавају и механичку и хемијску стабилност најсавременијих технологија производње плочица.

Било да се користи у дифузионим пећима, епитаксијалним реакторима или опреми за обраду на високим температурама, Семицорек графитна електрода пружа неупоредиве перформансе у најзахтевнијим термичким окружењима. Комбиновањем високе чистоће, прецизне геометрије и напредне обраде материјала, Семицорек испоручује решење за електроде које обезбеђује стабилну струјну проводљивост, доследно загревање и дугорочну оперативну поузданост која је неопходна за производњу полупроводника следеће генерације.