Стегни Царбон ЦОАТИНГ ФИЛЛ

Семицорек стаклени угљеник у облику угљеника делује као унутрашњи изолациони слој у силицијумним карбидним епитаксијалним реакторима. То је изолациони материјал високе перформансе дизајниран за напредна топлотна средина. Овај производ превазилази типична полу-температурну пројекту за производњу високих температура нудећи врхунске решења услед његове лаган и одлична својства топлотне изолацијеграфит осећај, заједно са површинским интегритетом и хемијске инертности која је пренела стаклени угљеник.

Основни материјал је велика чистоћаграфит осећајизабрали су своју ниску термичку проводљивост стабилност високе температуре и лагане тежине. Нормални графит осећа се обично има проливање површинских влакана и стварање честица на повишеним температурама које могу да контаминирају процесно окружење у осетљивим епитаксијским системима. Да бисте ублажили ово питање, површина графитног филца је једнолично пресвучена слојем стакленог угљеника - густим, непоузрозним обликом угљеника познатог по хемијској иностриности, мале пропусности гаса и изузетну топлотну стабилност.

Гласни угљеник је не-графитизовани угљеник који комбинује својства стакла и керамике. За разлику од кристалног графита, то је аморфни, готово 100% хибридизовани карбонски материјал, који је формиран високим температурама полимеризованим органским прекурсорима, као што је фенолна смола, фурфурил алкохолна смола итд., Инертна атмосфера гаса. Будући да је црно током целог целог целог и има глатку површину сличан стаклу, то се зове стаклени угљеник.

Стеглица Царбон превлака може да елиминише стварање честица пећи, обезбеђује одлична својства за демонтажу и смањити пропусност, чинећи овај материјал веома погодан за континуиране калупе и производе у полуводичкој индустрији. Овај материјал има широк спектар апликација у индустрији полуводича, посебно у графитним деловима као што су компоненте једноструког кристала, компоненте опреме за повлачење силикона, компоненте епитаксија, континуирани калупи за ливење, стаклене бртвене џиге итд.

Гласни угљеник има високу температуру отпорност на 3000 ° Ц у инертном гасу или вакууму и за разлику од свих осталих керамичких и металних материјала високог високо температуре, јачина стаклених угљеника расте са све већем температуром до 2700К, а нема изузетно висок топлотни удар и нема проблема са великим временским отпором на топлотној ударци, тако да нема проблема са великим брзим ударом и нема проблема. Поред тога, стаклени угљеник има малу масу, ниску апсорпцију топлоте и ниско топлотни експанзију, тако да је погодан за готово све апликације са високим температурама.

Намерни угљенични премаз игра пресудну улогу у заптивању површинских пора у графичном филцу, значајно смањујући ослобађање честица и угљеније прашине током рада. Ово је посебно критично у процесима раста СИЦ-а, где чак и минимална контаминација може угрозити квалитет и перформансе уређаја. Капсулирањем порозне структуре филца са глатком, тврдом стакленом угљеном шкољком, премаз осигурава чисто и стабилно топлотно окружење у оквиру реакционе коморе.

Кључне предности гласине угљеног филца угљеника укључују:

Смањење проливања честица: густо премазивање ефикасно се закључава у лабавим влакнима и честицама, спречавајући контаминацију вафла и компоненти реактора.

Висока топлотна стабилност: И графитни осећаји и стаклени угљеник могу да издрже температуре прелазе 2000 ° Ц у инертној или вакуумској атмосфери, чинећи производ идеалан за процесе СИЦ-а високе температуре.

Хемијска инертност: стаклена површина угљеника отпорна је на већину киселина и корозивних гасова, продужавајући оперативни живот изолационог слоја под оштрим условима.

Побољшана конзистенција процеса: Минимизирана генерација честица доприноси стабилнијим и поновљивим окружењу на епитаксијама, што је неопходно за производњу висококвалитетних сичких вафера.

Апликације стакленог угљеног премаза филца се првенствено продужавају на пећи раста СИЦ-а, где се користи као термички изолациони слој унутар вруће зоне. Производ се обично инсталира као материјал за облоге у горњем или нижој изолационој хрпи, где пружа и топлотну заштиту и очишћење чистоће.