Фусед Куартз Педестал

У производњи полупроводника, постоље са спојеним кварцом служи као потпорна структура за кварцни чамац, који држи плочице. Одржавањем константне температуре, помаже у постизању равномерног таложења танког филма, критичног фактора за перформансе и поузданост полупроводничких уређаја. Постоље обезбеђује равномерну расподелу топлоте и светлости унутар процесне коморе, чиме се побољшава укупни квалитет процеса таложења.

Предности материјала топљеног кварца

1. Отпорност на високе температуре

Фусед Куартз Постоље има тачку омекшавања од приближно 1730°Ц, што му омогућава да издржи продужену употребу на температурама у распону од 1100°Ц до 1250°Ц. Штавише, може да издржи краткотрајно излагање температурама до 1450°Ц.

2. Отпорност на корозију

Фусед Куартз Педестал је хемијски инертан према већини киселина, са изузетком флуороводоничне киселине. Његова отпорност на киселине премашује керамику 30 пута, а нерђајући челик 150 пута. На повишеним температурама, ниједан други материјал не може да парира хемијској стабилности топљеног кварца, што га чини идеалним избором за оштра хемијска окружења.

3. Термичка стабилност

Једна од истакнутих карактеристика Фусед Куартз постоља је његов минимални коефицијент топлотног ширења. Ово својство му омогућава да издржи озбиљне промене температуре без пуцања. На пример, може се брзо загрејати до 1100°Ц, а затим потопити у воду на собној температури без оштећења – што је суштинска карактеристика за производне процесе под високим стресом.

Процес производње

Процес производње Фусед Куартз постоља је пажљиво контролисан како би се осигурали највиши стандарди квалитета. Постоља се производе кроз процесе термоформирања и заваривања који се спроводе у чистим просторијама класе 10.000 или више. Накнадно чишћење ултра чистом водом (18 МΩ)додатно обезбеђује чистоћу и перформансе производа. Сваки постоље од фузионисаног кварца подлеже ригорозној инспекцији, чишћењу и паковању у чистој просторији класе 1.000 или више како би се испунили строги захтеви производње полупроводника.

Прозирни кварцни материјал високе чистоће

За ефикасно блокирање топлоте и светлости, Фусед Куартз Педестал користи непрозирни кварцни материјал високе чистоће. Јединствена својства овог материјала повећавају способност постоља да одржи стабилну и уједначену температуру унутар процесне коморе, чиме се обезбеђује конзистентан квалитет таложења танког филма на плочице.

Широк спектар апликација

Изузетна својства Фусед Куартз постоља чине га погодним за разне примене у индустрији полупроводника. У АЛД процесима, подржава прецизну контролу раста танког филма на атомском нивоу, што је неопходно за производњу напредних полупроводничких уређаја. Током ЛПЦВД процеса, термичка стабилност постоља и способност блокирања светлости доприносе равномерном таложењу филма, побољшавајући перформансе уређаја и принос.

У процесима дифузије, отпорност на високе температуре и хемијска инертност Фусед Куартз Педестал-а осигуравају поуздано и доследно допирање полупроводничких материјала. Ови процеси су критични за дефинисање електричних својстава полупроводничких уређаја, а употреба висококвалитетних материјала као што је топљени кварц је неопходна за постизање оптималних резултата.