ЕСЦ Цхуцк

Семицорек ЕСЦ Цхуцк користи електростатичке силе како би одржао прецизну контролу над позицијом плочице, обезбеђујући високу прецизност и поновљивост у окружењима производње полупроводника. Дизајн ЕСЦ стезне главе, заједно са његовим робусним одабиром материјала и прилагодљивим димензијама, чини га свестраним и битним алатом у процесима као што су јеткање, таложење и јонска имплантација.

ЕСЦ стезна глава ради тако што примењује високонапонско електростатичко поље између електрода стезне главе и плочице, стварајући привлачну силу која држи плочицу на месту. Облата, обично направљена од силицијума или силицијум карбида, је осигурана овом силом, омогућавајући прецизне операције у окружењима високог вакуума. Овај систем елиминише потребу за механичким стезањем или вакуумским стезањем, што може унети загађиваче или изобличити плочицу. Коришћењем ЕСЦ стезне главе, произвођачи могу да постигну чистије, стабилније окружење за деликатне процесе производње, што доводи до већих приноса и доследнијих резултата.

Једна од кључних предности ЕСЦ технологије је њена способност да одржи чврсто приањање на плочици док равномерно распоређује силу по њеној површини. Ово осигурава да плочица остане равна и стабилна, што је кључно за постизање равномерног јеткања или таложења, посебно у процесима где је потребна субмикронска прецизност. Прилагодљиве димензије ЕСЦ стезне главе омогућавају му да прилагоди плочице различитих величина, од стандардних 200 мм и 300 мм плочица до специјализованих, нестандардних величина које се користе у истраживању и развоју или у производњи нишних полупроводничких уређаја.

Материјали који се користе у конструкцији ЕСЦ стезне главе пажљиво су одабрани како би се осигурала компатибилност са тешким окружењима која се обично налазе у обради полупроводника. Керамичка глиница високе чистоће се користи због својих одличних електричних изолационих својстава, термичке стабилности и отпорности на плазма корозију. Ова својства омогућавају да стезна глава ефикасно функционише у условима високе температуре и високог вакуума, обезбеђујући издржљивост и поузданост потребну за дуготрајну употребу у чистој просторији.

Прилагођавање је још једна значајна предност ЕСЦ стезних глава. У зависности од специфичних захтева процеса производње полупроводника, димензије стезне главе, конфигурације електрода и састав материјала могу се прилагодити да задовоље јединствене потребе опреме и плочица које се обрађују. Без обзира да ли примена укључује нагризање плазмом, хемијско таложење паре (ЦВД) или физичко таложење паре (ПВД), ЕСЦ стезна глава може бити пројектована да оптимизује перформансе и одржава интегритет плочице током обраде.