Елецтростатиц Цхуцк

Користећи керамику од алуминијума високе чистоће, Семицорек Елецтростатиц Цхуцк пружа врхунске перформансе у подешавањима која дају приоритет прецизности, стабилности и чистоћи. Алуминијум, такође познат као алуминијум оксид (Ал2О3), је керамички материјал познат по својим изузетним својствима електричне изолације, високој топлотној проводљивости и изванредној механичкој чврстоћи. Ова својства га чине идеалним материјалом за израду електростатичке стезне главе, дизајниране да издржи захтевне услове обраде полупроводника. Алуминијум керамички ЕСЦ је пројектован да издржи високе температуре, корозивна окружења и механичко оптерећење током руковања и обраде плочица, играјући кључну улогу у обезбеђивању приноса и квалитета полупроводничких уређаја.

Основни принцип који стоји иза електростатичке стезне главе је електростатичка сила, која се користи за безбедно држање плочице на месту. Ова сила се ствара применом напона на електроде уграђене у керамички материјал. Интеракција између електростатичког поља и индукованих наелектрисања на површини плочице ствара снажну силу стезања која држи плочицу на површини стезне главе. Дизајн ЕСЦ од алуминијумске керамике обезбеђује да је ова сила стезања равномерно распоређена по плочи, минимизирајући ризик од клизања или оштећења током обраде.

Једна од кључних предности употребе глинице керамике у конструкцији Елецтростатиц Цхуцк-а је њена изузетна електрична изолациона својства. Висока диелектрична чврстоћа глинице омогућава примену високих напона без ризика од електричног слома, што је кључно за одржавање интегритета електростатичког поља. Ово је посебно важно у процесима као што је нагризање плазмом или хемијско таложење паре, где је плочица изложена високо реактивним срединама и свака варијација у сили стезања може довести до кварова или оштећења плочице.

Поред својих електричних својстава, глиница керамика показује одличну топлотну проводљивост, што је неопходно за управљање топлотом која се ствара током обраде полупроводника. Способност Елецтростатиц Цхуцк-а да ефикасно одводи топлоту помаже у одржавању стабилне температуре на плочи, смањујући термичке градијенте који могу довести до савијања или других облика термичког стреса. Ова термичка стабилност је критична за обезбеђивање прецизности и поновљивости процеса као што је фотолитографија, где чак и мала температурна одступања могу утицати на исход.