Прстенови ивица

Помицорек ивице ивице су критични део целокупног процеса производње полуводича, посебно за апликације за прераду вафла, укључујући и јеткање плазме и хемијско стање паре (ЦВД). Ивице су дизајниране да окружују спољни обод полуводичке резине како би се енергије равномерно дистрибуирала током побољшања процеса стабилности, приноса и поузданости уређаја. Наши прстенови за ивице израђују се од хемијске паре високог чистоће силицијум карбида (ЦВД СИЦ) и изграђени су за захтевна процесна окружења.

Питања настају током процеса заснованих на плазмима у којима енергетска изоличност и изобличење плазме на ивици реф-а ствара ризик од оштећења, процеса и губитка приноса. ЕДГЕ прстенови минимизирају овај ризик фокусирањем и обликовањем енергетског поља око спољашњег обода вафла. Ивице прстенови седе непосредно изван спољне ивице резине и делују као преграде за процесе и енергетски водичи који минимизирају ивице ефекте, штите ивицу за резање од прекорачења и испоручивају суштинску додатну униформност преко површине резина.

Материјалне предности ЦВД СИЦ-а:

Наше рубље ивице се производе од ЦВД СИЦ-а високе чистоће, што је јединствено дизајнирано и пројектовано за оштре процесне окружења. ЦВД СИЦ карактерише изузетна топлотна проводљивост, висока механичка чврстоћа и одлична хемијска отпорност - сви атрибути који чине ЦВД СИЦ материјал избора за полуводичке апликације које захтевају трајност, стабилност и ниска питања контаминације.

Висока чистоћа: ЦВД СИЦ има нечистоће близу нулта Значење да ће бити мало до генерисаних честица и без контаминације метала које је од виталног значаја за напредне полуводиче чвора.

Термичка стабилност: Материјал одржава стабилност димензије на повишеним температурама, што је пресудно за правилно постављање вафла у њен положај у плазми.

Хемијска инертност: Инерт је на корозивне гасове као што су они који садрже флуорински или хлор који се обично користе у области етцх у плазми, као и ЦВД процесима.

Механичка снага: ЦВД СИЦ може да издржи пуцање и ерозију током продуженог временског периода циклуса који обезбеђују максимални живот и минимизирајући трошкове одржавања.

Сваки ивични прстен је прилагођен дизајнирању да се прилагоди геометријске димензије процесног комора и величине резине; обично 200 мм или 300 мм. Толеранције за дизајн се узимају веома чврсто како би се осигурало да се ивица може искористити у постојећем процесу модула без потребе за модификацијом. Прилагођене геометрије и површинске обраде доступне су за испуњавање јединствених ОЕМ захтева или конфигурација алата.