Е-Цхуцк

Семицорек Е-Цхуцк је ЕСЦ Цоуломб типа, направљен од глинице високе чистоће, нуди изузетне перформансе у низу опреме, укључујући машине за гравирање, системе за јонску имплантацију, физичко таложење паре (ПВД) и системе хемијског таложења паре (ЦВД). . Његова примарна функција је да безбедно држи плочице на месту током критичних процеса, обезбеђујући прецизност, поузданост и повећану продуктивност.


Принцип рада електростатичке стезне главе Цоуломб типа заснива се на електростатичком привлачењу. Када се једносмерна струја високог напона (ДЦ) примени на електростатичку стезну главу, долази до поларизације између керамичког диелектричног слоја и производа који се држи, као што је полупроводничка плочица. Генерисане електростатичке силе стварају чврсто, али нежно држање на плочици, омогућавајући јој да остане на месту чак и под условима велике брзине и великог напрезања типичним за процесе производње полупроводника. Материјал глинице високих перформанси који се користи у конструкцији Семицорек Е-Цхуцк-а пружа савршен диелектрични медијум за ову сврху, захваљујући својим одличним изолационим својствима и високој топлотној отпорности.

Критични аспект Кулонове Е-стезне главе је њена способност да одржи конзистентан и уједначен контакт између плочице и површине стезне главе. Ово осигурава да се плочице безбедно држе током различитих фаза процеса, као што су нагризање, таложење или имплантација јона. Висока прецизност у дизајну стезне главе гарантује равномерну расподелу силе по плочи, што је кључно за постизање висококвалитетног излаза који се захтева у производњи полупроводника. Штавише, овај прецизан механизам за држање обезбеђује минимално померање или клизање током рада, спречавајући дефекте или оштећења на плочицама, које су често крхке и скупе.

Семицорек Е-Цхуцк нуди неколико кључних карактеристика које га чине идеалним избором за производњу полупроводника. Прво, унутрашње електроде унутар стезне главе обезбеђују сигурну и поуздану фиксацију плочице, чак и у тешким окружењима плазме типичним за процесе јеткања и таложења. Ова метода фиксирања је кључна за одржавање поравнања и стабилности плочице, што директно утиче на прецизност процеса и квалитет финалног полупроводничког производа.

Још једна важна карактеристика је интеграција уграђених грејача, омогућавајући прецизну контролу температуре вафла током обраде. Процеси производње полупроводника често захтевају специфичне термичке услове да би се постигла жељена својства материјала или карактеристике јеткања. Семицорек Е-Цхуцк је опремљен са контролом температуре у више зона, која обезбеђује конзистентно и уједначено грејање на плочи, спречавајући топлотне градијенте који би могли довести до дефеката или неуједначених резултата. Овај ниво контроле температуре је посебно критичан у процесима као што су ЦВД и ПВД, где је равномерно таложење материјала неопходно за производњу висококвалитетних танких филмова.

Поред тога, употреба глинице високе чистоће у конструкцији Е-Цхуцк-а минимизира контаминацију честицама, што представља значајан проблем у производњи полупроводника. Чак и мале количине контаминације могу довести до дефеката у финалном производу, смањујући принос и повећавајући трошкове. Карактеристика ниске производње честица Семицорек Е-Цхуцк-а осигурава да плочица остане чиста током целог процеса, помажући произвођачима да остваре већи принос и бољу поузданост производа.

Е-Цхуцк је такође дизајниран да буде веома отпоран на ерозију плазме, што је још један критичан фактор у његовим перформансама. У процесима као што је нагризање плазмом, где су плочице изложене високо реактивним јонизованим гасовима, сама стезна глава мора бити у стању да издржи ове оштре услове без деградације или ослобађања загађивача. Својства глинице која је отпорна на плазму која се користи у Семицорек Е-Цхуцк-у чине га идеалним за ова захтевна окружења, обезбеђујући дугорочну издржљивост и доследне перформансе током дужих периода.

Механичка чврстоћа и висока прецизна обрада Семицорек Е-Цхуцк су такође вредни пажње. С обзиром на деликатну природу полупроводничких плочица и чврсте толеранције потребне у производњи, кључно је да стезна глава буде произведена по строгим стандардима. Високопрецизан облик и завршна обрада површине Е-Цхуцк-а осигуравају да се плочице држе безбедно и равномерно, смањујући ризик од оштећења или недоследности у обради. Ова механичка робусност, у комбинацији са одличним термичким и електричним својствима, чини Семицорек Е-Цхуцк поузданим и свестраним решењем за широк спектар процеса полупроводника.

Семицорек Е-Цхуцк представља софистицирано решење за сложене захтеве производње полупроводника. Његова комбинација електростатичког стезања типа Куломб, конструкције од алуминијума високе чистоће, интегрисаних могућности грејања и отпорности на ерозију плазме чине га незаменљивим алатом за постизање високе прецизности и поузданости у процесима као што су јеткање, јонска имплантација, ПВД и ЦВД. Са својим прилагодљивим дизајном и робусним перформансама, Семицорек Е-Цхуцк је идеалан избор за произвођаче који желе да побољшају ефикасност и принос својих полупроводничких производних линија.