ЦВД ТАЦ пресвучени прстенови

Семицорек ЦВД ТАЦ пресвучени прстенови су прецизне компоненте дизајниране посебно за процес раста кристала, посебно у оквиру смера и цозохралских (ЦЗ) система повлачења. Ови ЦВД ТАЦ пресвучени прстенови функционишу као компоненте водича за проток - обично називају "Водич за проток" или "прстенови за одбијање протока" -и играју критичну улогу у одржавању стабилних угљика протока гаса и топлотних окружења током фазе раста кристала.

Узимање раста силицијум карбида као пример, графитни материјали и композитни материјали угљеник-угљеник у термичким теренским материјалима тешко је задовољити сложену атмосферу (СИ, Сиц₂, СицЦ) на 2300 ℃. Не само да је животни животни век, различити делови се замењују сваких на десет пећи, а дијализу и испакализација графита на високим температурама могу лако довести до кристалних оштећења као што су инклузије угљеника. Да би се осигурао висококвалитетни и стабилан раст полуводичких кристала и с обзиром на трошкове индустријске производње, ултра-високим температурама отпорни на керамичке превлаке су припремљени на површини графичних делова, који ће продужити живот графитних компоненти, инхибирати нечистоћу миграције и побољшати кристалну чистоћу. У епитаксијалном расту силицијумског карбида, силиконски карбид пресвучен графички суцепци су обично користили за ношење и топлину појединачних кристалних подлога. Њихов радни век и даље треба побољшати, а лежишта силиконских карбида на интерфејсу потребно је редовно очистити. Супротно томе,Танталум Царбиде (ТАЦ) премазиОтпорнији су на корозивне атмосфере и високе температуре, а су основна технологија за такве сине кристале на "расти, густи и добро расте и добро расте".

ТАЦ има тачку топљења до 3880 ℃, а има високу механичку чврстоћу, тврдоћу и топлотну отпорност на ударце; Има добру хемијску инертност и топлотну стабилност амонијаком, водоничном и силицијумском пару на високим температурама. Графитни (угљен-карбонски композитни) материјали пресвучени тачки премазама су врло вјероватно да ће заменити традиционалну високо-чистоће графит, ПБН премазе, итд. Поред тога, у области ваздухоплова, ТАЦ има велики потенцијал да се користи као висока температура анти-оксидација и прекривена средства. Међутим, још увек постоје многи изазови за постизање припреме густих, униформисаних и не-љупког тачки премаза на површини графита и промовисати индустријску масовну производњу. У овом процесу, истраживање механизма заштите премаза, иновирањем производног процеса и надметање са најбољим спољним нивоом су пресудни за трећу генерацију полуводичког кристалног раста и епитаксија.

Поступак СИЦ ПВТ помоћу сета конвенционалног графита иЦВД ТАЦ пресвученПрстенови су моделирани да би разумели ефекат емисије на расподелу температуре, што може довести до промена у стопи раста и инготском облику. Показано је да ће ЦВД ТАЦ пресвучени прстенови постићи једиљније температуре у поређењу са постојећим графитом. Поред тога, одлична топлотна и хемијска стабилност ТАЦ премаза спречава реакцију угљеника са и паром. Као резултат, ТАЦ премаз чини дистрибуцију Ц / СИ у радијалном смеру више униформне.