ЦВД пећи за хемијско таложење из паре

Семицорек ЦВД пећи за хемијско таложење паре чине производњу висококвалитетне епитаксије ефикаснијом. Пружамо решења за пећи по мери. Наше ЦВД пећи за хемијско таложење паре имају добру предност у цени и покривају већину европских и америчких тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек ЦВД пећи за хемијско таложење паром дизајниране за ЦВД и ЦВИ, користе се за наношење материјала на подлогу. Температура реакције до 2200°Ц. Контроле масеног протока и модулациони вентили координирају реактантне и носеће гасове као што су Н, Х, Ар, ЦО2, метан, силицијум тетрахлорид, метил трихлоросилан и амонијак. Депоновани материјали укључују силицијум карбид, пиролитички угљеник, бор нитрид, цинк селенид и цинк сулфид. ЦВД пећи за хемијско таложење паре имају хоризонталну и вертикалну структуру.

апликација:СиЦ премаз за Ц/Ц композитни материјал, СиЦ премаз за графит, СиЦ, БН и ЗрЦ премаз за влакна итд.

Карактеристике Семицорек ЦВД пећи за хемијско таложење из паре

1.Робустан дизајн од висококвалитетних материјала за дуготрајну употребу;

2. Прецизно контролисана испорука гаса употребом регулатора масеног протока и висококвалитетних вентила;

3.Опремљен сигурносним функцијама као што су заштита од превисоке температуре и детекција цурења гаса за сигуран и поуздан рад;

4. Коришћење више зона за контролу температуре, велика уједначеност температуре;

5. Специјално дизајнирана комора за таложење са добрим ефектом заптивања и одличним перформансама против контаминације;

6. Коришћење вишеструких канала за таложење са уједначеним протоком гаса, без мртвих углова таложења и савршене површине таложења;

7. Има третман за катран, чврсту прашину и органске гасове током процеса таложења

Спецификације ЦВД пећи
Модел	Величина радне зоне (Ш × В × Д) мм	Макс. температура (°Ц)	Температура Уједначеност (°Ц)	Крајњи вакуум (Па)	Брзина повећања притиска (Па/х)
ЛФХ-6900-СиЦ	600×600×900	1500	±7.5	1-100	0.67
ЛФХ-10015-СиЦ	1000×1000×1500	1500	±7.5	1-100	0.67
ЛФХ-1220-СиЦ	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
ЛФХ-1530-СиЦ	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
ЛФХ-2535-СиЦ	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
ЛФВ-Д3050-СиЦ	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
ЛФВ-Д6080-СиЦ	φ600×800	1500	±7.5	1-100	0.67
ЛФВ-Д8120-СиЦ	φ800×1200	1500	±7.5	1-100	0.67
ЛФВ-Д11-СиЦ	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
ЛФВ-Д26-СиЦ	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

* Горе наведени параметри се могу прилагодити захтевима процеса, они нису као стандард прихватања, детаљна спецификација. биће наведено у техничком предлогу и уговорима.