Керамички фокусни прстенови за полупроводнике

Семицорек керамикапрстен за фокусирањес за полупроводнике су идеална решења скројена за тешке услове рада плазма гравирања. Током софистицираног процеса јеткања полупроводника, кључно је да се прецизно контролише дистрибуција плазме, што може да обезбеди стабилност коморе за јеткање и конзистентну униформност јеткања полупроводника. Као незаменљиве компоненте које се користе у напредној опреми за гравирање, фокусни прстенови се обично постављају око полупроводничких плочица и долазе у директан контакт са њима. Перформансе фокусних прстенова директно утичу на поновљивост процеса, принос производа и време рада опреме.

Предности Семицорек керамичких фокусних прстенова за полупроводнике

1. Ултра-висока чистоћа материјала

Чистота нашеЦВД СиЦматеријала прелази 99,9995%. Ово може ефикасно спречити контаминацију коморе за нагризање и полупроводничких плочица узроковану недовољном чистоћом материјала.

2. Изузетна отпорност на корозију

Семицорек керамички фокусни прстенови за полупроводнике су направљени од ЦВД СиЦ, одликују се одличном отпорношћу на оксидацију, ерозију и хемијску корозију, а посебно су ефикасни против процесних гасова као што су ХФ и ХЦИ, као и гаса плазме.

3. Врхунске перформансе отпора

Уједначеност отпора Семицорек керамичких фокусних прстенова за полупроводнике је мања од 5%.

Опсег отпорности: Ниска рез. (<0,02 Ω·цм), средња рез. (0,2–25 Ω·цм), висока рез. (>100 Ω·цм).

Функције Семицорек керамичких фокусних прстенова за полупроводнике

1. Контролишите и униформишите ивично електрично поље и дистрибуцију плазме

Семицорек керамички фокусни прстенови за полупроводнике могу контролисати дистрибуцију електричног поља унутар коморе за нагризање и постићи уједначенији плашт плазме око полупроводничких плочица, омогућавајући плазми да удари у површину плочице на вертикални и уједначен начин. На овај начин, ефекат ивице нагризања може бити знатно смањен и прецизност гравирања може бити значајно побољшана.

2. Заштитите електростатичку стезну главу

Без заштите фокусних прстенова у процесу јеткања, електростатичка стезна глава ће бити изложена бомбардовању и ерозији високоенергетске плазме. Електростатичке стезне главе су направљене од скупих материјала са изузетно високим трошковима замене. Коришћење фокусних прстенова може ефикасно смањити корозију плазме на електростатичкој стезној глави и минимизирати трошкове одржавања и замене електростатичке стезне главе.