Керамичке електростатичке стезне главе

Семицорек керамичке електростатичке стезне главе су прецизне електростатичке адсорпционе компоненте направљене од глинице високих перформанси и керамике алуминијум нитрида, која користи принцип електростатичке адсорпције за стезање и фиксирање плочица. Широко се користи у области производње полупроводника. Семицорек има напредну технологију, висококвалитетне материјале и исплативе производе. Радујемо се што ћемо постати ваш поуздан партнер у снабдевању у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Керамичке електростатичке стезне главесу прецизне компоненте које користе електростатичко поље које се ствара између електрода и плочица за стезање и фиксирање плочица. Они се широко примењују у областима као што су полупроводници, екрани са равним екраном и оптика, и представљају кључне компоненте врхунске опреме као што су ПВД уређаји, машине за гравирање и јонски имплантатори.

У поређењу са традиционалним механичким стезним главама и вакуумским стезаљкама, керамичке електростатичке стезне главе имају многе предности у области производње полупроводника. Ова керамичка електростатичка стезна глава користи статички електрицитет да изравна и равномерно држи плочице на својој површини. Ова униформна сила адсорпције може задржати адсорбовани објекат релативно равним, избегавајућиваферсавијања или деформације које могу бити узроковане традиционалним механичким стезним главама иливакуумске стезне главе, и осигуравајући да плочица одржава тачност обраде погодну за високопрецизне полупроводничке процесе.

Неке керамичке електростатичке стезне главе имају интегрисане функције загревања, које могу прецизно контролисати температуру плочице путем гаса за дување или унутрашње грејне електроде, прилагодити се строгим температурним захтевима различитих процеса и побољшати стабилност обраде.

За разлику од механичких стезних глава, керамичке електростатичке стезне главе смањују механичке покретне делове, смањују утицај честица загађивача на квалитет плочице, ефикасно штите чистоћу површине плочице и побољшавају принос производа.

Керамичке електростатичке стезне главе нуде широку компатибилност. Могу да прихвате плочице различитих величина и материјала, укључујући силицијум, галијум-арсенид и силицијум карбид, задовољавајући различите потребе производње полупроводника.

Они могу стабилно да раде у окружењима високог вакума као што су јонска имплантација и ЦВД, превазилазећи ограничења традиционалних вакуумских стезаљки које не могу да апсорбују плочице у вакуумском окружењу и савршено испуњавају захтеве процеса имплантације јона, хемијског таложења паре (ЦВД) и других процеса у производњи полупроводника.