Керамички манипулатор глинице

Алуминијум керамички манипулаторсе такође назива керамичка виљушка од глинице и крајњи ефектор за руковање плочицама. Инсталиран је на роботу за руковање плочицама и еквивалентан је руци робота. Користи се за ношење, транспорт и позиционирање полупроводничких плочица.Силицијумске плочицесу изузетно подложни контаминацији од других честица, тако да се њима обично рукује у вакуумском окружењу како би се осигурала чистоћа. Керамички манипулатори од алуминијума користе усисавање под негативним притиском за уклањање плочица и транспорт полупроводничких плочица кроз покрете руке за телескоп, ротацију и подизање. Унутар керамичког манипулатора од алуминијума постоје отвори за ваздух и вентилациони жлебови, који могу да формирају вакуум приликом пумпања ваздуха, тако да се полупроводничке плочице могу адсорбовати лаганим контактом без прикљештења или оштећења полупроводничких плоча.

Познато је да је чистији саставглиница керамикаје, већа ће бити његова снага. Семицорек алумина керамички манипулатори су направљени од глинице високе чистоће. Ово резултира изузетном механичком чврстоћом и тврдоћом. Њихова отпорност на хабање далеко превазилази отпорност челика и хромираног челика, омогућавајући им да одрже површинску тачност током времена у окружењима са високим трењем, смањујући ризик од огреботина на плочицама и чинећи их идеалним за високо прецизно руковање. Овај керамички манипулатор од алуминијума има високу отпорност. Његова изванредна својства електричне изолације могу ефикасно спречити електростатичке сметње и смањити ризик од адсорпције честица како би се одржала чиста површина плочице. Штавише, процес производње полупроводника укључује сложена кола и високонапонска окружења унутар опреме. Керамички манипулатор од алуминијума високог отпора ефикасно блокира провођење струје, обезбеђујући електричну сигурност током руковања полупроводничким плочицама. Захваљујући отпорности на високе температуре и термичкој стабилности алуминијумске керамике, манипулатор се врло мало деформише током процеса термичке обраде полупроводника, може прецизно позиционирати плочице и избећи прецизно одступање узроковано термичком деформацијом. Штавише, овај материјал има одличну хемијску стабилност и веома је отпоран на корозију киселинама, алкалијама, растопљеним металима, итд. Није лако реаговати са другим супстанцама да би се ослободиле загађујуће честице и може ефикасно заштитити полупроводничке делове од хемијске контаминације.