Семицорек АЛУМИНА Керамички крајњи ефектор је прецизно-инжењерска компонента посебно дизајнирана за поуздано руковање вафлом без контаминације у производњи полуводича и сродних апликација. *
Семицорек Алумина Керамички крајњи ефектор је основни алат у аутоматизованим системима преноса вафла, који нуде неуспоредиву механичку чврстоћу, топлотну стабилност и хемијску отпорност. Произведено коришћењем велике чистоћеАлумина (АЛ₂О₃) керамика, овај крајњи ефектор је пројектован да би задовољили строге захтеве окружења прецизности, где су прецизност, чистоћа и трајност.
Полуководни роботини су један од важних делова полуводичке опреме. Обично се састоје од контролора, управљачких програма, оружја и крајње ефекте. Карактеришу их висока чистоћа, висока стабилност, велика прецизност, висока ефикасност и велика поузданост. Се полуводичке роботе углавном се користе у предњем делу производње полуводича за ношење, транспорт и позиционирање полуводичких вафера.
Керамичка структура која има садржај АЛУМИНА обично већа од 99,5% пружиће врхунску тврдоћу и отпорност на опењене покрете у високо прецизним окружењима без деградације. Висока топлотна проводљивост и ниска топлотна експанзија Алумина омогућавају димензионалну стабилност у окружењу уз повишену температуру, неопходност у већини операција чистине у полуводичима, као што су у Етцхер, Депосеттер, Инспецтион-у.
ТхеАлумина КерамикаКрајњи ефектор има значајан карактеристичан површински завршну обраду која је глатка и има ниску порозност, што га чини у близини нулте честице генерисане и минимизиране или нулте ефекта на нечистоће током руковања вафлу. Поред тога, Алумина је хемијски инертна. То значи да неће реаговати ни са једним од процесних гасова и било ког процеса течности да је вафар у контакту. Ово штити вафлу и било коју контаминацију себи и опрему од свега што може изазвати корозију.
Они се обично користе као крајње ефекте или механизам за стезање, за роботске руке или преносе модуле опреме и опрему за производњу и алат за депозицију, инспекцијски или алат за депозицију, инспекцијски или средство за чишћење, жутосмеђе или вакуумске канале који се могу преносити на вафлове и преношење вафера и пренос вафера. Крајњи ефекти обично ће се руковати брзинама преноса вафла на 25 цм / секунди.
Опције прилагођавања постоје дуж линија дизајниране за одређене интерфејсе опреме или величине вафла. Структурна ригидност Алумина омогућава танко и лагане профиле који минимизирају укупну масу руковања и доводе до бржег времена одзива. Неке конфигурације такође могу додати антистатичке или изолационе компоненте да би пружили додатну заштиту осетљивим електронским подлогама.
Све у свему, Експецтор ЦЕРМИЦК АЛУМИНА ЦЕРМИЋ пружа ефикасно решење које промовише побољшани принос и смањена контаминација, где је оперативна поузданост кључна елемента за линију прераде вафле. Својом дуготрајном и физичким карактеристикама перформанси, ефективна и економична алумина керамичка експецтор разликује се као популарни избор међу произвођачима полуводича и фабса који захтевају строге стандардне стандарде у ултра чистом окружењу.