Суво нагризање је главна технологија у производним процесима микро-електро-механичких система. Перформансе процеса сувог нагризања имају директан утицај на структурну прецизност и оперативне перформансе полупроводничких уређаја. Да бисте прецизно контролисали процес гравирања, велика пажња се мора п......
ОпширнијеАеростатски клизач од силицијум карбида је напредни систем водилица који комбинује својства материјала силицијум карбида и аеростатичке технологије. Као оптимално решење за прецизне, високопоуздане и дуготрајне системе кретања, аеростатски клизач од силицијум карбида се широко користи у области као ......
ОпширнијеГлавни метод за припрему монокристала силицијум карбида је метода физичког транспорта паре (ПВТ). Ова метода се углавном састоји од шупљине кварцне цеви, грејног елемента (индукциони калем или графитни грејач), изолационог материјала од графитног угљеника, графитног лончића, кристала за семе силициј......
ОпширнијеСОИ, скраћено од Силицон-Он-Инсулатор, је процес производње полупроводника заснован на специјалним материјалима супстрата. Од своје индустријализације 1980-их, ова технологија је постала важна грана напредних процеса производње полупроводника. Одликује се својом јединственом трослојном композитном ......
ОпширнијеЕлектростатичка глава преузима вишеструке функције као што су равномерно електростатичко пражњење, провођење топлоте и адсорпција и фиксација плочице у области производње полупроводника. Једна од основних функција ЕСЦ-а је да стабилно адсорбује плочице у екстремним радним условима као што су високи ......
Опширније