Брод за плочице од силицијум карбида

У производњи полупроводника, оксидација укључује стављање плочице у окружење високе температуре где кисеоник струји преко површине плочице да би се формирао оксидни слој. Ово штити плочицу од хемијских нечистоћа, спречава да струја цурења уђе у кола, спречава дифузију током имплантације јона и спречава клизање плочице током јеткања, формирајући заштитни филм на површини плочице. Опрема која се користи у овом кораку је пећ за оксидацију. Главне компоненте унутар реакционе коморе укључују чамац за плочице, подножје, цеви облоге пећи, унутрашње цеви пећи и преграде за топлотну изолацију. Због високе радне температуре, захтеви за перформансама компоненти унутар реакционе коморе су такође високи.

Тхечамац за наполитанкекористи се као носач за транспорт и обраду плочица. Требало би да поседује предности као што су висока интеграција, висока поузданост, антистатичка својства, отпорност на високе температуре, отпорност на хабање, отпорност на деформације, добра стабилност и дуг радни век. Пошто је температура оксидације плочице приближно између 800℃ и 1300℃, а захтеви за садржај металних нечистоћа у околини су изузетно строги, кључне компоненте као што је чамац за плочице не само да морају имати одличне термичке, механичке и хемијске особине, већ имају и изузетно низак садржај металних нечистоћа. На основу подлоге, могу се поделити на чамце од кварцних плочица, керамичке чамце од силицијум карбида итд. Међутим, са напретком процесних чворова испод 7нм и ширењем прозора процеса високе температуре, традиционални кварцни чамци постепено постају неадекватни у смислу термичке стабилности, контроле животног века честица. Чамци од силицијум карбида (СиЦ) постепено замењују традиционална кварцна решења.

1. Производња полупроводника

У високотемпературним процесима производње чипова, као што су оксидација, дифузија, таложење хемијском паром (ЦВД) и јонска имплантација, СиЦ чамци се користе за подршку силицијумских плочица, обезбеђујући да плочице остану равне на високим температурама и спречавају неусклађеност или деформацију решетке узроковане термичким напрезањем, чиме се гарантују предуслови и перформансе.

2. Фотонапонска индустрија

Керамика од силицијум карбида поседује одличну механичку чврстоћу, термичку стабилност, отпорност на високе температуре, отпорност на оксидацију, отпорност на термички удар и отпорност на хемијску корозију, и широко се користи у популарним областима као што су металургија, машине, нова енергија и хемикалије за грађевинске материјале. Његове перформансе су такође довољне за термичке процесе у фотонапонској производњи, као што су дифузија, ЛПЦВД (хемијско таложење паре ниског притиска) и ПЕЦВД (плазма хемијско таложење паре) за ТОПцон ћелије. У поређењу са традиционалним кварцним материјалима, керамички материјали од силицијум карбида који се користе за израду носача за чамце, малих чамаца и цевастих производа нуде већу чврстоћу, бољу термичку стабилност и не деформишу се под високим температурама. Њихов животни век је такође више од пет пута дужи од кварца, што значајно смањује оперативне трошкове и губитке енергије услед застоја у одржавању. Ово резултира јасном предности у трошковима, а сировине су широко доступне.

3. Индустрија полупроводника треће генерације

У реакционим коморама метал-органског хемијског таложења паре (МОЦВД), чамци од силицијум карбида се користе за подршку сафирних супстрата, који издржавају корозивна гасна окружења као што је амонијак (НХ3), подржавајући епитаксијални раст полупроводничких материјала треће генерације као што је галијум нитрид (ГаН) и побољшавају ефикасност и ефикасност ЛЕД-а. У расту монокристала силицијум карбида, чамци од силицијум карбида служе као носачи кристала за семе у пећима за раст монокристала силицијум карбида, издржавајући високотемпературно корозивно окружење растопљеног силицијума, пружајући стабилну подршку за раст монокристала силицијум карбида и промовишући припрему висококвалитетних монокристала силицијум карбида.

Семицорек испоручује висококвалитетну СиЦ керамикунаполитанке. Наши производи су пројектовани да пруже врхунску термичку стабилност, продужени радни век и изузетну конзистентност процеса. За прилагођена решења или додатне техничке информације, слободно контактирајте наш инжењерски тим.

Телефон: +86-13567891907

Е-пошта: салес@семицорек.цом