Које су предности и мане сувог и мокрог гравирања?

1. Шта су суво и мокро гравирање?

Суво нагризање је техника која не укључује никакву течност, уместо тога користи плазму или реактивне гасове за нагризање чврстог материјала на површини плочице. Ова метода је неопходна у производњи већине производа са чиповима, као што су ДРАМ и флеш меморија, где се не може користити влажно гравирање. С друге стране, мокро нагризање укључује употребу течних хемијских раствора за нагризање чврстог материјала на површини плочице. Иако није универзално применљиво на све производе са чиповима, мокро гравирање се широко користи у амбалажи на нивоу плочице, МЕМС-у, оптоелектронским уређајима и фотонапонским уређајима.

2. Које су карактеристике сувог и мокрог нагризања?

Прво, хајде да разјаснимо концепте изотропног и анизотропног јеткања. Изотропно јеткање се односи на брзину јеткања која је уједначена у свим правцима на истој равни, слично као што се таласање равномерно шири када се камен баци у мирну воду. Анизотропно јеткање значи да брзина гравирања варира у различитим правцима на истој равни.

Мокро нагризање је изотропно. Када плочица дође у контакт са раствором за јеткање, она се угризе надоле, истовремено изазивајући бочно нагризање. Ово бочно нагризање може утицати на дефинисану ширину линије, што доводи до значајних одступања у гравури. Стога је мокро гравирање тешко прецизно контролисати за облике за гравирање, што га чини мање погодним за карактеристике мање од 2 микрометра.

Насупрот томе, суво гравирање омогућава прецизнију контролу облика гравирања и нуди флексибилније методе гравирања. Сувим јеткањем се може постићи и изотропно и анизотропно јеткање. Анизотропно гравирање може да произведе конусне (угао <90 степени) и вертикалне профиле (угао ≈90 степени).

да резимирамо:

1.1 Предности сувог гравирања (нпр. РИЕ)

Усмереност: Може постићи високу усмереност, што резултира вертикалним бочним зидовима и високим размерама.

Селективност: Може да оптимизује селективност јеткања избором специфичних гасова и параметара за јеткање.

Висока резолуција: Погодно за фине карактеристике и дубоко урезивање.

1.2 Предности мокрог нагризања

Једноставност и исплативост: Течности и опрема за нагризање су генерално економичнији од оних који се користе за суво нагризање.

Уједначеност: Омогућава уједначено гравирање по целој плочици.

Није потребна сложена опрема: Обично је потребна само купка за потапање или опрема за центрифугирање.

3. Избор између сувог и мокрог гравирања

Прво, на основу захтева процеса за производ чипа, ако само суво гравирање може да испуни задатак гравирања, изаберите суво гравирање. Ако и суво и мокро гравирање могу испунити захтеве, мокро гравирање је генерално пожељније због његове исплативости. Ако је потребна прецизна контрола ширине линије или вертикалних/конусних углова, одлучите се за суво гравирање.

Међутим, одређене специјалне структуре морају бити урезане мокрим нагризањем. На пример, у МЕМС-у, обрнута пирамидална структура угравираног силицијума може се постићи само мокрим јеткањем.**