Значај порозних графитних материјала за раст кристала СиЦ

Семицорек-ова компонента пећи за раст кристала СиЦ,буре од порозног графита, донеће три велике предности и може ефикасно да ојача конкурентност домаћихСиЦ супстрати:

• Смањите трошкове компоненти за раст кристала СиЦ;
• Повећајте дебљину СиЦ кристала и смањите укупне трошкове подлоге;
• Побољшајте принос кристала СиЦ и повећајте корпоративну конкурентност.

Додавање порозних графитних плоча у пећи за раст кристала СиЦ је једно од врућих тачака у индустрији. Доказано је да уметањем апорозни графитлистова изнад изворног праха СиЦ, постиже се добар пренос масе у области кристала, што може побољшати различите техничке проблеме који постоје у традиционалним пећима за раст кристала.

(а) Традиционална пећ за раст кристала, (б) Пећ за раст кристала са порозним графитним лимом

Извор: Универзитет Донгуи, Јужна Кореја

Експерименти су показали да када се користе традиционалне пећи за раст кристала, СиЦ супстрати обично имају различитеполиморфи, као што су 6Х и 15Р-СиЦ, докСиЦ супстратиприпремљене помоћу пећи за раст кристала на бази порозног графита имају само4Х-СиЦ монокристал. Штавише, густина микротуби (МПД) и густина удубљења (ЕПД) су такође значајно смањене. МПД две пећи за раст кристала је 6-7ЕА/цм2 односно 1-2ЕА/цм2, што се можесмањен до 6 пута.

Семицорек је такође покренуо нови процес „једнократног масовног трансфера“ заснован напорозни графитни листови. Порозни графит има веома добарспособност пречишћавања. Нови процес користи ново топлотно поље за примарни пренос масе, што чини ефикасност преноса масе побољшаном и у основи константном, чиме се смањује утицај рекристализације (избегавајући секундарни пренос масе), ефективно смањујући ризик од микротубула или других повезаних дефеката кристала. Поред тога, порозни графит је такође једна од основних технологија за решавање проблема раста и дебљине кристала СиЦ, јер може уравнотежити компоненте гасне фазе, изоловати нечистоће у траговима, прилагодити локалну температуру и смањити физичке честице као што је омотавање угљеника. Под претпоставком да се кристал може користити,дебљина кристаламоже се смањити. може значајно повећати.

Техничке карактеристикеСемицорек порозни графит:

Порозност може достићи и до 65%;

Поре су равномерно распоређене;

Висока стабилност серије;

Висока чврстоћа, може достићи ≤1мм ултратанак цилиндрични облик.

Семицорек нуди висок квалитетпорозни графитделови. Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом