Шта је графитни сусцептор обложен СиЦ?

У циљу увођењаГрафитни пријемник обложен СиЦ, важно је разумети његову примену. Приликом производње уређаја, на неким подлогама за плочице потребно је изградити додатне епитаксијалне слојеве. На пример, ЛЕД уређаји који емитују светлост захтевају припрему ГаАс епитаксијалних слојева на силицијумским подлогама; док је раст СиЦ слоја на СиЦ подлогама потребан, епитаксијални слој помаже да се конструишу уређаји за енергетске примене као што су високи напон и јака струја, на пример СБД, МОСФЕТ, итд. Насупрот томе, епитаксијални слој ГаН је конструисан на полуизолационом СиЦ супстрат за даљу конструкцију уређаја као што је ХЕМТ за апликације радио фреквенције као што су комуникације. Да бисте то урадили, аЦВД опрема(између осталих техничких метода) је потребно. Ова опрема може депоновати елементе ИИИ и ИИ групе и елементе В и ВИ групе као изворне материјале за раст на површини супстрата.

УЦВД опрема, супстрат се не може поставити директно на метал или једноставно поставити на подлогу за епитаксијално таложење. То је зато што су правац струјања гаса (хоризонтални, вертикални), температура, притисак, фиксација, одвајање загађивача, итд. фактори који могу утицати на процес. Због тога је потребан сусцептор где се супстрат поставља на диск, а затим се користи ЦВД технологија за обављање епитаксијалне депозиције на подлогу. Овај пријемник је графитни пријемник обложен СиЦ-ом (познат и као тацна).

Тхеграфитни пријемникје кључна компонента уМОЦВД опрема. Делује као носач и грејни елемент подлоге. Његова термичка стабилност, униформност и други параметри перформанси су важни фактори који одређују квалитет раста епитаксијалног материјала и директно утичу на униформност и чистоћу танкослојног материјала. Дакле, квалитетграфитни пријемникје од виталног значаја у припреми епитаксијалних плочица. Међутим, због потрошне природе суцептора и променљивих услова рада, лако се губи.

Графит има одличну топлотну проводљивост и стабилност, што га чини идеалном основном компонентом заМОЦВД опрема. Међутим, чисти графит се суочава са неким изазовима. Током производње, резидуални корозивни гасови и метална органска материја могу изазвати кородију и прах, чиме се значајно скраћује његов радни век. Поред тога, графитни прах који пада може да изазове загађење чипа. Дакле, ови проблеми морају бити решени током процеса припреме базе.

Технологија премаза је процес који се може користити за фиксирање праха на површинама, побољшање топлотне проводљивости и равномерну дистрибуцију топлоте. Ова технологија је постала примарни начин за решавање овог проблема. У зависности од окружења примене и захтева употребе графитне основе, површински премаз треба да има следеће карактеристике:

1. Висока густина и потпуно омотавање: Графитна база је у високој температури, корозивном радном окружењу, а површина мора бити потпуно покривена. Премаз такође мора имати добру густину да би пружио добру заштиту.

2. Добра равност површине: Пошто графитна база која се користи за раст монокристала захтева високу равност површине, првобитна равност базе мора се одржати након што је премаз припремљен. То значи да површина премаза мора бити уједначена.

3. Добра чврстоћа везивања: Смањење разлике у коефицијенту топлотног ширења између графитне базе и материјала за премазивање може ефикасно побољшати снагу везивања између њих. Након доживљавања термичких циклуса високих и ниских температура, премаз није лако пуцати.

4. Висока топлотна проводљивост: Висококвалитетни раст чипова захтева брзу и уједначену топлоту са графитне базе. Према томе, материјал за облагање треба да има високу топлотну проводљивост.

5. Висока тачка топљења, отпорност на високу температуру на оксидацију и отпорност на корозију: премаз треба да буде у стању да ради стабилно у високотемпературним и корозивним радним окружењима.

Сада,силицијум карбид (СиЦ)је пожељан материјал за премазивање графита, због његових изузетних перформанси у високотемпературном и корозивном гасном окружењу. Штавише, његов блиски коефицијент топлотног ширења са графитом омогућава им да формирају јаке везе. Поред тога,Тантал-карбид (ТаЦ) премазтакође је добар избор и може да стоји у окружењима са високим температурама (>2000℃).

Семицорек нуди висок квалитетСиЦиТаЦ обложени графитни пријемници. Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом