Шта су графитни пријемници обложени СиЦ?

Подлога (база) која подржава СиЦ плочице, такође позната као "погребник," је основна компонента опреме за производњу полупроводника. А шта је тачно овај сусцептор који носи плочице?

У процесу производње плочице, подлоге је потребно додатно изградити епитаксијалним слојевима за израду уређаја. Типични примери укључујуЛЕД емитери, који захтевају ГаАс епитаксијалне слојеве на врху силицијумских супстрата; на проводним СиЦ подлогама, СиЦ епитаксијални слојеви се узгајају за уређаје као што су СБД и МОСФЕТ, који се користе у апликацијама високог напона и велике струје; наполуизолационе СиЦ подлоге, ГаН епитаксијални слојеви су изграђени за конструисање уређаја као што су ХЕМТ, који се користе у РФ апликацијама као што су комуникације. Овај процес се у великој мери ослања на ЦВД опрему.

У ЦВД опреми, супстрати се не могу директно постављати на метал или једноставну подлогу за епитаксијално таложење, јер укључује различите факторе утицаја као што су смер струјања гаса (хоризонтални, вертикални), температура, притисак, стабилност и уклањање загађивача. Због тога је потребна подлога на коју се поставља подлога пре употребе ЦВД технологије за наношење епитаксијалних слојева на подлогу. Ова база је позната као аГрафитни пријемник обложен СиЦ(такође се зове база/тацна/носач).

Графитни пријемници обложени СиЦ-ом се обично користе у опреми за таложење металоорганским хемијским парама (МОЦВД) за подршку и загревање монокристалних супстрата. Термичка стабилност и униформност графитних пријемника обложених СиЦ-ом играју кључну улогу у одређивању квалитета раста епитаксијалног материјала, чинећи их критичним компонентама МОЦВД опреме.

МОЦВД технологија је тренутно главна техника за узгој ГаН танкослојне епитаксије у производњи плавих ЛЕД диода. Нуди предности као што су једноставно руковање, контролисана стопа раста и висока чистоћа произведених ГаН танких филмова. Сусцептори који се користе за епитаксијални раст танког филма ГаН, као важна компонента унутар реакционе коморе МОЦВД опреме, морају имати високу температурну отпорност, уједначену топлотну проводљивост, добру хемијску стабилност и јаку отпорност на топлотни удар. Графитни материјали могу испунити ове захтеве.

Графитни пријемници су једна од кључних компоненти у МОЦВД опреми и служе као носиоци и емитери топлоте за подлоге, директно утичући на униформност и чистоћу танкослојних материјала. Сходно томе, њихов квалитет директно утиче на припрему Епи-вафера. Међутим, током производње, графит може кородирати и деградирати због присуства корозивних гасова и заосталих металоорганских једињења, значајно скраћујући животни век графитних пријемника. Поред тога, отпали графитни прах може да изазове контаминацију на чиповима.

Појава технологије премаза пружа решење за овај проблем обезбеђујући површинску фиксацију праха, побољшану топлотну проводљивост и уравнотежену дистрибуцију топлоте. Премаз на површини графитних пријемника који се користи у окружењу МОЦВД опреме треба да поседује следеће карактеристике:

1. Способност потпуног затварања графитне базе са добром густином, пошто је графитни пријемник подложан корозији у корозивним гасним срединама.

2. Снажно везивање са графитним пријемником како би се осигурало да се премаз не одваја лако након вишеструких циклуса на високим и ниским температурама.

3. Одлична хемијска стабилност како би се спречило да премаз постане неефикасан у високотемпературним и корозивним атмосферама. СиЦ поседује предности као што су отпорност на корозију, висока топлотна проводљивост, отпорност на топлотни удар и висока хемијска стабилност, што га чини идеалним за рад у ГаН епитаксијалним атмосферама. Штавише, коефицијент топлотног ширења СиЦ-а је веома близак коефицијенту графита, што га чини пожељним материјалом за премазивање површине графитних пријемника.

Семицорек производи графитне пријемнике обложене ЦВД СиЦ-ом, производећи прилагођене СиЦ делове, као што су чамци за плочице, конзолне лопатице, цеви, итд. Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом