ТаЦ Цоатинг

ТаЦ керамика има тачку топљења до 3880°Ц, високу тврдоћу (тврдоћа по Мохсу 9-10), велику топлотну проводљивост (22В·м^-1·К⁻¹), велику чврстоћу на савијање (340-400МПа) и мали коефицијент топлотног ширења (6,6×10^-6К-1), и показују одличну термохемијску стабилност и одличне физичке особине, тако да се ТаЦ премази широко користе у ваздушној топлотној заштити, а графит и Ц/Ц композити имају добру хемијску компатибилност и механичку компатибилност. ), и показују одличну термохемијску стабилност и одличне физичке особине, а графит и Ц/Ц композити имају добру хемијску компатибилност и механичку компатибилност, тако да се ТаЦ премази широко користе у ваздушној топлотној заштити, расту монокристала, енергији и електроници и медицинским уређајима, итд. Графит обложен ТаЦ има бољу хемијску отпорност од голог графита или графита обложеног СиЦ и може се стабилно користити на високој температури од 2600°. Стабилност на високој температури од 2600 °, а многи метални елементи не реагују, је трећа генерација сценарија раста полупроводничких монокристала и јеткања у најбољим перформансама премаза, може значајно побољшати процес контроле температуре и нечистоћа, припрему високих -квалитетне плочице од силицијум карбида и сродне епитаксијалне плочице. Посебно је погодан за МОЦВД опрему за узгој ГаН или АлН монокристала и ПВТ опрему за узгој СиЦ монокристала, а квалитет узгојених монокристала је значајно побољшан.

Према резултатима истраживања,ТаЦ премаз може деловати као заштитни и изолациони слој за продужење века трајања графитних компоненти, побољшање уједначености радијалне температуре, одржавање сублимационе стехиометрије СиЦ, сузбијање миграције нечистоћа и смањење потрошње енергије. На крају се очекује да сет графитних лончића обложен ТаЦ-ом побољша контролу процеса СиЦ ПВТ и квалитет производа.