Структурне разлике између различитих типова реактора

На основу конфигурације реакционе коморе, опрема за топлотну обраду (опрема цеви за пећи) је углавном подељена у три категорије: вертикалне цеви за пећи, хоризонталне цеви за пећи и пећи за брзу термичку обраду (РТП).

Вертикалне цеви за пећ имају вертикално распоређене кварцне цеви, са облатима постављеним око цеви за загревање. Њихове главне предности су уједначена дистрибуција температуре, прецизна контрола атмосфере, висока аутоматизација, мање контаминације честицама, мали отисак и подршка за серијску обраду (посебно погодна за 12-инчне плочице), што их чини тренутно доступном основном опремом. Величина глобалног тржишта достигла је 3,2 милијарде долара 2024. (СЕМИ подаци). Њихови недостаци укључују лако одвајање гаса и течности и силазни ток медијума који потенцијално може да изазове прегоревање цеви пећи.

Хоризонталне цеви за пећ имају хоризонтално постављене кварцне цеви, које истовремено обрађују 100-200 плочица. Њихове предности укључују равномеран проток гаса и течности унутар цеви пећи и прецизнију контролу температуре. Њихови недостаци укључују већи отисак и већу потрошњу међуцевних носача од високолегираног челика. Структурно, хоризонталне цеви за пећи постављају облатне вертикално унутар хоризонталних цеви за обраду.

Пећи за брзо термичко жарење (РТП) користе халогене инфрацрвене лампе за брзо загревање појединачних плочица, нудећи брзе стопе загревања и хлађења које мењају само температуру плочице без промене температуре коморе. Погодни су за брзо жарење малих серија, али не и за масовну производњу.

У обради плочице, хоризонталне цеви пећи постављају плочицу на кварцни чамац, који се заузврат ослања на носећи оквир од силицијум карбида (СиЦ). Носећи оквир се затим гура у цев кварцне пећи, где облатна подлеже реакцији у зони константне температуре. Вертикалне цеви пећи, с друге стране, постављају обланду на кварцни торањ и полако је подижу у цев кварцне пећи за обраду. Након реакције, обланда се полако спушта да би се спречило савијање или ломљење.

Семицорек снабдева висококвалитетно прилагођенореактор кварцне пећи. Наши производи су пројектовани да пруже врхунску термичку стабилност, продужени радни век и изузетну конзистентност процеса. За прилагођена решења или додатне техничке информације, слободно контактирајте наш инжењерски тим.

Телефон: +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом