Шта је СОИ

Силицијум на изолатору (СОИ) је препознат као једно од решења за замену постојећих монокристалних силицијумских материјала у ери нанотехнологије и главни је алат за одржавање тренда Муровог закона. Силицијум на изолатору, технологија супстрата која замењује традиционални расути силицијум супстрата са "произведеним" супстратом, користи се више од 30 година у специјализованим апликацијама као што су војни и свемирски електронски системи, где СОИ има јединствене предности због својих одличних отпорност на зрачење и карактеристике велике брзине.

СОИ материјали су основа за развој СОИ технологије, а развој СОИ технологије зависи од континуираног напредовања СОИ материјала. Недостатак јефтиних, висококвалитетних СОИ материјала био је примарно ограничење за СОИ технологију да уђе у индустријску производњу великих размера. Последњих година, са зрелошћу технологије припреме СОИ материјала, постепено се решава проблем материјала који ограничава развој СОИ технологије, што у крајњој линији укључује две врсте технологије припреме СОИ материјала, а то је имплантација Сператион-би-Окиген (СИМОКС) и технологију везивања. Технологија везивања укључује традиционалну Бонд анд Етцх бацк (БЕСОИ) технологију и Смарт-цут технологију која комбинује убризгавање јона водоника и везивање коју је предложио М. Бруел, један од оснивача СОИТЕЦ-а у Француској, као и комбинацију Симбонд СОИ припреме материјала изолацију кисеоника и везивање које је предложио др Менг Чен 2005. Нова технологија комбинује изолацију и везивање убризгавањем кисеоника.