Зашто одабрати графитне пријемнике обложене СиЦ?

Грапхите суцепторје један од битних делова у МОЦВД опреми, носилац је и грејач подлоге вафла. Његова својства термичке стабилности и термичке униформности играју одлучујућу улогу у квалитету епитаксијалног раста плочице, што директно одређује уједначеност и чистоћу материјала слоја, при чему њен квалитет директно утиче на припрему епитаксије. У међувремену, са повећањем броја употреба и променом услова рада, врло је лако изгубити, а спада у потрошни материјал. Одлична топлотна проводљивост и стабилност графита чине га добром предношћу каоосновна компонента за МОЦВД опрему. Међутим, ако се користи само чисти графит, суочиће се са неким проблемима. У процесу производње биће корозивног гаса и металних органских остатака, а графитна база ће кородирати и испуштати прах, што у великој мери смањује животни век уређаја.графитни пријемник, а пали графитни прах ће такође проузроковати загађење чипа, тако да у процесу припреме подлоге и ове проблеме је потребно решити током припреме подлоге. Технологија премаза може да обезбеди површинску фиксацију праха, побољша топлотну проводљивост и изједначи топлотну дистрибуцију, што постаје главна технологија за решавање овог проблема. Главна технологија је решавање овог проблема. Према окружењу апликације и захтевима одграфитни пријемници, површински премаз треба да има следеће карактеристике.

Високе густине и потпуно омотавање: графитна база као целина је у високој температури, корозивном радном окружењу, површина мора бити потпуно умотана, док премаз мора имати добру густину да би играо добру заштитну улогу.

Добра равност површине: Пошто графитна база која се користи за раст монокристала захтева веома високу равност површине, првобитна равност базе мора да се одржи након што је премаз припремљен, тј. површина премаза мора бити уједначена.

Добра чврстоћа везивања: Смањење разлике коефицијента топлотног ширења између графитне базе и материјала за облагање може ефикасно побољшати чврстоћу везивања између њих, а премаз није лако пуцати након термичких циклуса високе и ниске температуре.

Висока топлотна проводљивост: Висококвалитетни раст чипова захтева брзу и уједначену топлоту са графитне базе, тако да материјал за облагање треба да има високу топлотну проводљивост.

Висока тачка топљења, високотемпературна оксидација и отпорност на корозију: премаз треба да буде у стању да стабилно ради у високој температури и корозивном радном окружењу.