МОЦВД је кључна опрема

МОЦВД опрема је кључна опрема у производном процесу индустрије полупроводника, али и велики део улагања у опрему у ланцу индустрије полупроводника (три основна процеса и опрема: литографија, гравирање, таложење танког филма), улагања у ЛЕД производну линију, МОЦВД износ инвестиције може износити до 50%. У ЦВД опреми, супстрат се не може поставити директно на метал или једноставно поставити на врх базе за епитаксијално таложење, јер укључује утицај различитих фактора као што су смер струјања гаса (хоризонтални, вертикални), температура, притисак, фиксација , избацивање загађивача. Због тога се користи база и супстрат се поставља на диск, а затим се врши епитаксијално наношење на врх супстрата коришћењем ЦВД технологије. Ова база је графит обложен СиЦ-омсусцептор(који се такође може назвати аносилац), а његова структура је приказана на слици испод.