Брод са силицијум карбидом

Иза сваког процеса високе температуре у производњи вафла лаже тихо, али пресудни играч: чамац од вафера. Док је основни носач који директно контактира силиконским решетком током прераде вафла, његова материјала, стабилност и чистоћа директно се односе на коначни принос и стабилност чипа. Међу разним превознијим материјалима,Силицијум карбида (СИЦ)Чамци постепено замјењују традиционална кварцна решења, постајући пожељно решење за напредне процесе и врхунску опрему.

Зашто шанкови за вафле?

Унапређењем процесних чворова испод 7НМ и ширење прозора процеса високе температуре, традиционалне куартз плочице се све више боре у погледу топлотне стабилности, контроле честица и управљања животним и животношћу.

Међутим, силицијум карбидних плоча, међутим, постепено добијају истакнутост због следећих предности:

1. Поквалите се на високим температурама:

Они нуде дугорочне радне температуре од 1350-1600 ° Ц, лако руковање главним процесима као што су ЦВД, дифузија и жарење. Чак и кратка изложеност температурама 1800 ° Ц показује да их не омекша или деформација, чинећи их погодним за вишу опрему као што су појединачне кристалне фребидне пећи.

2. Посетите ширење и висока топлотна ударна стабилност:

Са ниским коефицијентом топлотне експанзије, могу да издрже брзу температуру расте и смањује се, минимизирајући структурно пуцање узроковано термичким стресом. Они одржавају одличну морфологију и перформансе на високом температуру, сложеном атмосфери (као што су водоник, азот, амонијак и флуориди).

3.Одна површина и изузетно ниска контаминација:

Висока материјална чистоћа са минималним нечистоћима метала. Ниска храпавост површине, спречавање секундарне контаминације силицијумског трупа; Одлична контрола храпавости површине, са РА испод 0,1 μм, сузбија прорезивање честица и испуњава захтеве за чистоћом напредних процеса;

4. Једноделно обликовање, прецизно обрађене структуре чамца од маште могу се директно формирати кроз ласуле3Д штампање, елиминирајући потребу за калупима, значајно побољшање ефикасности прилагођавања; у комбинацији са видом од пет оси и технологијом сечења жица, зуби брода су без бурре, спречавајући огреботине на вафлама и обезбедити глатко аутоматизовано руковање;

5. Висока чврстоћа и дуг живот: 

Један чамац има велику чврстоћу оптерећења и може истовремено да подржава десетине стотинама 12-инчних вафла. У поређењу са традиционалним кварцним бродицама, просечни животни век брода је 5-10 пута дуже, смањујући фреквенцију пребацивања опреме и укупне трошкове власништва.

Сценариј апликације

Широка прилагодљивостСИЛИЦОН ЦАРБИДЕ ПОВЕР БОАТСПродуже своју примену изван поља полуводича на разне сценарије високотемтемпера температуре, укључујући нове енергетске материјале, ЛЕД производна и нуклеарна истраживања и истраживање нуклеарне енергије.

Полуводичка индустрија

Погодан је за кључне процесе као што су оксидација, дифузија, ЦВД таложење и имплантација ИОН-а, што га чини неопходним носачем високог температура за под-7НМ процесне линије.

Фотонапонска индустрија

У настајању батерије Технологије попут Топцон и ХЈТ-а, вафло бродови користе се у процесима пећи на високом температуру, као што су ЛПЦВД и жарење, помажући побољшању енергетске ефикасности и стопе конверзије.

Полуводичи треће генерације

За процесе раста ГАН и СИЦ-а у ЛЕД-у, подржавају сафир или силицијумске карбидне подлоге. Они издржавају корозивне гасове као што су НХ₃ и ХЦл, подржавајући производњу високофреквентних уређаја за напајање.

Нови енергетски материјали и истраживање платформе високог температура

Подржава реакцију синтеровања литијумске батерије Катодни материјали и топлотни третман материјала за нуклеарну индустрију, комбинујући отпорност на топлоту, отпорност на корозију и чистоћу.

Семицорек нуди високу чистоћуПрилагођени бродови за сиц. Ако имате било каквих питања или су вам потребне додатне детаље, не устручавајте се да ступите у контакт са нама.

Контакт телефон # + ​​86-13567891907

Емаил: салес@семицОрек.цом