Проводни графитни грејачи

ТхеПроводни сложени графитни грејачје нови производ дизајниран за прераду полуводича високе температуре и друге вакуумске топлотне системе. Користи добру топлотну стабилност високе чистоће графита и одличне површинске карактеристике силицијумског карбида (СИЦ). Проводни сложени графитни грејач даље се диференцира својим слојем за азот-допед СИЦ који нуди значајно побољшану површинску проводљивост, што га чини посебно добро прилагођеним за апликације које су потребне контролисане и чак загревање великих електричних перформанси.

Грејач је изграђен са супстратом високе чврстоће, који делује као језгро структурни и топлотни проводник. Графит је изабран, посебно с обзиром на своје високе нивое топлотне проводљивости, ниску коефицијент термичког експанзије и отпорност на топлотни шок. Ове карактеристике чине графит одговарајући основни материјал у апликацијама високих температура у којима могу бити брзог грејања и хлађења циклуса. Међутим, сама приштински графит је хемијски реактиван у одређеним атмосферима и може да доживи оштећења површине или деградацију, емисија честица или преношење током проширене употребе, посебно у окружењу за чистоћом полуводича.

Да бисте превазишли ове ограничења, графитни део је пресвучен дебелим, високо-чистоћи СИЦ слојем. СИЦ премаз послужује више функција: пружа ниво заштите од оксидације и хемијске корозије, он пружа веома тешку површину отпорне на хабање и обезбеђује компатибилност са вакуум и чистиним стандардима. Сиц има репутацију екстремне тврдоће, високе топлотне проводљивости и хемијске инертности; Из тог разлога то је одличан материјал за превлачење за топлотне компоненте високог перформанси.

Јединствена иновација овог производа је азот допинг сичког премаза. During the chemical vapor deposition (CVD) process, nitrogen atoms are embedded into the SiC lattice, producing free carriers, which can dramatically decrease its surface resistivity, and therefore create a conductive surface layer and allow current to pass directly, rather than using an access point, through the SiC coating, thus allowing the entire graphite component to act as a resistive heating element.

КласичанСиц премазису изолативни, који их заиста ограничава у обиму активних електричних апликација. Супротно томе, сички слој азота на грејачу има изузетно ниску површински отпор и даље одржава све механичке и хемијске користи класичног СИЦ-а. Проводни слој пружа врло добру тренутну уједначеност и минимизира губитак снаге током побољшања термичке дистрибуције на површини грејача. Посебно је идеалан за прецизне захтеве за грејање под условима који су често повезани са епитакАционим реакторима, дифузијским пећима и брзим опремом за топлотну обраду (РТП).

Грејарска геометрија, типично спирална или серпентина као што је приказана на слици, осмишљена је и оптимизована са намером да се изради јединствена топлотна излазна енергија и јединствена електрична оптерећења. Са интегрисаним дизајном графитног и проводљивог СИЦ премаза, електрични контакти се могу директно направити на обложену површину која елиминише потребу за било каквим додатним електродама или металним прикључак. То смањује ризике за контаминације и резултира једноставнијем скупштином. Сходно томе, побољшава се укупна ефикасност.

Кључне предности проводљивогГрафички грејач пресвучен сицУкључи:

Одлична електрична проводљивост услед допинга азота, омогућавајући директни струјни проток и ефикасно отпорно загревање.

Врхунска топлотна униформност са прецизном контролом температуре преко целокупне површине.

Висока хемијска отпорност, посебно у корозивним окружењима као што су водоник, амонијак или атмосфере богате халогеном.

Минимална генерација честица, испуњавање строгих потреба за чистоћима полуводичке израде полуводича.

Проширени радни век услуге, захваљујући механичкој трабилности и топлотном удару отпорности и графитног језгра и СИЦ премаза.

Апликације за овај грејач проширују се на бројне напредне технолошке индустрије. Грејач ће пронаћи место у процесима производње полуводича попут хемијских таложења паре (ЦВД), молекуларну епитакксију (МБЕ) и резиф жарења, где су прецизна температура и чистоћа материјала критична. Графички грејач пресвучен се може користити и у фотонапонски производи, синтеровању напредне керамике и у другим термичким процесима где су потребни већи перформанси, издржљивост и робусна грејачи.

Укратко, проводљиви графички гријач сувише је импресиван напредак у развоју топлотних компоненти. Коришћењем азот-допедског премаза, развили смо ефикасан термички производ који успешно комбинује хемијску стабилност СИЦ премаза електричном проводљивошћу. Стога, производњу термичког процеса који је ефикаснији, чистији и поузданији за најзахтевније индустријске апликације. Индустрија полуводича и материјала суочавају се на сталну промене и хибридни материјали ове врсте постаће све важнији у омогућавању будућих напреднијих технологија за производњу.

Семицорек нуди висококвалитетниГрафитни грејачи са премазомПроизводи. Ако имате било каквих питања или су вам потребне додатне детаље, не устручавајте се да ступите у контакт са нама.

Контакт телефон # + 86-13567891907

Емаил: салес@семицОрек.цом